【技术实现步骤摘要】
本申请涉及热处理，特别是涉及pecvd预热方法、预热系统和设备。
技术介绍
1、在太阳能电池制造中，管式热处理设备得到广泛应用，如扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积cvd(lpcvd、pecvd等)、原子层沉积ald等。相关技术中，进行pecvd工艺中，需要达到足够的温度才能满足工艺条件，一个完整pecvd工艺时间为43分钟，其中预热需20分钟，占整个工艺时间的44％，较长的预热升温的时间占据工艺时长相当大的一部分，会直接影响到产能。随着市场对产能需求的不断提升，pecvd设备的管径也在不断增大(从450mm-500mm-520mm-540mm),预热步所需时间也越来越长，已成为产能提升的瓶颈。
2、现有技术中，例如专利号cn111235552a公开的采用外置式的加热装置，通过设置预热腔提前给载有基片的载具进行加热，但存在会大幅增加设备的空间，且预热后载具转移至工艺腔过程存在二次污染或造成基片碎片的风险。现有技术中，通过在pecvd管内设置金属辅热管或红外灯管等方式进行加热，来提高工艺管内载具及基片的温度，但是同样存在预热...
【技术保护点】
1.一种PECVD预热方法，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
11...
【技术特征摘要】
1.一种pecvd预热方法，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：
8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：
10.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖宝臣，严大，王亨，韩明新，康旭，耿健，沈安磊，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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