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本申请公开了PECVD预热方法、预热系统和设备。PECVD设备包括加热炉体和工艺管。工艺管设置于加热炉体内。工艺管具有进气端和出气端。PECVD设备还包括气体加热装置。气体加热装置与进气端连通。气体加热装置用于加热保护气。出气端与负压泵连通...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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