发光二极管及发光二极管制备方法技术

技术编号:42404815 阅读:19 留言:0更新日期:2024-08-16 16:25
本公开提供了一种发光二极管及发光二极管制备方法。发光二极管包括:外延结构;外延结构包括依次层叠的第一半导体层、有源层和第二半导体层,第一半导体层、有源层和第二半导体层形成台阶结构;台阶结构的台阶面沿从外延结构的中心到外延结构的边缘的方向倾斜。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及发光器件领域,特别涉及一种发光二极管及发光二极管制备方法


技术介绍

1、发光二极管能够覆盖从紫外到红外的波长范围。当前低分辨率示器市场仍以液晶显示器(liquid crystal display,lcd)为主流,微型发光二极管(micro light emittingdiode,micro led)因为本身的优点在低分辨率显示器市场逐步受到大家的重视。

2、相关技术提供了一种微型发光二极管,包括:第一半导体层、发光层和第二半导体层。微型发光二极管在制造过程中,先制作第一半导体层、发光层和第二半导体层,然后在第一半导体层、发光层和第二半导体层上开设凹槽状的台阶结构(mesa)。该凹槽状的台阶结构制作时,先利用光刻的方式形成光刻胶掩膜层,利用光刻胶掩膜层进行刻蚀形成凹槽状的台阶结构,通过去胶处理除掉光刻胶掩膜层。

3、在上述制作过程中,会出现胶残留在凹槽状的台阶结构里的问题。这样在后续制作金属电极时,会恶化电极和半导体层之间的粘附性,进而导致欧姆接触和可靠性变差。


技术实现思路

...

【技术保护点】

1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:外延结构(1000);

2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为弧面;

3.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为向所述第一半导体层(101)凹陷的弧面。

4.根据权利要求2或3所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)的倾斜角度为15~30度。

5.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管,其特征在于,所述发光二极管还包括:衬底(100)、键合层(104)、反射层(107)和电极结构(10);

<p>6.一种发光二极...

【技术特征摘要】

1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:外延结构(1000);

2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为弧面;

3.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为向所述第一半导体层(101)凹陷的弧面。

4.根据权利要求2或3所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)的倾斜角度为15~30度。

5.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管,其特征在于,所述发光二极管还包括:衬底(100)、键合层(104)、反射层(107)和电极结构(10);

6....

【专利技术属性】
技术研发人员:兰叶王江波朱广敏吴志浩张威
申请(专利权)人:京东方华灿光电苏州有限公司
类型:发明
国别省市:

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