【技术实现步骤摘要】
本公开涉及发光器件领域,特别涉及一种发光二极管及发光二极管制备方法。
技术介绍
1、发光二极管能够覆盖从紫外到红外的波长范围。当前低分辨率示器市场仍以液晶显示器(liquid crystal display,lcd)为主流,微型发光二极管(micro light emittingdiode,micro led)因为本身的优点在低分辨率显示器市场逐步受到大家的重视。
2、相关技术提供了一种微型发光二极管,包括:第一半导体层、发光层和第二半导体层。微型发光二极管在制造过程中,先制作第一半导体层、发光层和第二半导体层,然后在第一半导体层、发光层和第二半导体层上开设凹槽状的台阶结构(mesa)。该凹槽状的台阶结构制作时,先利用光刻的方式形成光刻胶掩膜层,利用光刻胶掩膜层进行刻蚀形成凹槽状的台阶结构,通过去胶处理除掉光刻胶掩膜层。
3、在上述制作过程中,会出现胶残留在凹槽状的台阶结构里的问题。这样在后续制作金属电极时,会恶化电极和半导体层之间的粘附性,进而导致欧姆接触和可靠性变差。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:外延结构(1000);
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为弧面;
3.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为向所述第一半导体层(101)凹陷的弧面。
4.根据权利要求2或3所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)的倾斜角度为15~30度。
5.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管,其特征在于,所述发光二极管还包括:衬底(100)、键合层(104)、反射层(107)和电极结构(10);
< ...【技术特征摘要】
1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:外延结构(1000);
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为弧面;
3.根据权利要求2所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)为向所述第一半导体层(101)凹陷的弧面。
4.根据权利要求2或3所述的发光二极管,其特征在于,所述台阶面(120)的倾斜角度为15~30度。
5.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管,其特征在于,所述发光二极管还包括:衬底(100)、键合层(104)、反射层(107)和电极结构(10);
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【专利技术属性】
技术研发人员:兰叶,王江波,朱广敏,吴志浩,张威,
申请(专利权)人:京东方华灿光电苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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