一种不锈钢炉管以及LPCVD设备制造技术

本技术涉及太阳能光伏技术领域，特别涉及一种不锈钢炉管以及LPCVD设备。该不锈钢炉管包括不锈钢管体，不锈钢管体的至少内壁表面设有过渡层，过渡层的热膨胀系数介于不锈钢管体的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间；位于不锈钢管体的内壁表面的过渡层中，过渡层背离不锈钢管体的表面用于形成沉积区域。不锈钢炉管在使用时，多晶硅会沉积在位于不锈钢管体的内壁表面的过渡层中背离不锈钢管体的表面，并形成多晶硅层。多晶硅与不锈钢管体的热膨胀系数的差异较大，过渡层的热膨胀系数介于多晶硅的热膨胀系数和不锈钢管体的热膨胀系数之间，可以延缓过渡层的脱落，避免不锈钢管体的破裂，以及避免不锈钢炉管出现掉渣，影响衬底外观及钝化质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能光伏，特别涉及一种不锈钢炉管以及lpcvd设备。

技术介绍

1、化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相沉积分为热化学气相沉积(tcvd)、低压化学气相沉积(lpcvd)、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)等。

2、目前，可以使用低压化学气相沉积设备用于多晶硅的沉积。在多晶硅的沉积过程中，多晶硅会沉积在低压化学气相沉积设备中炉管的内壁表面，形成多晶硅层。

3、现有技术中，炉管包括石英炉管和不锈钢炉管。由于多晶硅与石英炉管的热膨胀系数差异大，会导致石英炉管寿命短，使得运行成本高。而多晶硅也与不锈钢炉管的热膨胀系数也差异大，导致不锈钢炉管容易出现掉渣，影响衬底外观及钝化质量，还导致不锈钢炉管的使用寿命短，具有运行成本高的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术旨在提出一种不锈钢炉管以及lpcvd设备，以解决现有的低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种不锈钢炉管，其特征在于，包括不锈钢管体(10)，所述不锈钢管体(10)的至少内壁表面设有过渡层(11)，所述过渡层(11)的热膨胀系数介于所述不锈钢管体(10)的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间；

2.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的热膨胀系数范围是4＊10－6/℃－12＊10－6/℃。

3.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的耐温性大于等于600℃。

4.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的厚度范围是100um－200um。

<p>5.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种不锈钢炉管，其特征在于，包括不锈钢管体(10)，所述不锈钢管体(10)的至少内壁表面设有过渡层(11)，所述过渡层(11)的热膨胀系数介于所述不锈钢管体(10)的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间；

2.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的热膨胀系数范围是4＊10－6/℃－12＊10－6/℃。

3.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的耐温性大于等于600℃。

4.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)的厚度范围是100um－200um。

5.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)与所述不锈钢管体(10)的结合力大于等于10mpa。

6.根据权利要求1所述的不锈钢炉管，其特征在于，所述过渡层(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱广东，郭梦龙，童洪波，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：