【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸镀，具体为一种饱和气体等级分流模式的蒸发源。
技术介绍
1、蒸发源是镀膜设备中实现膜层沉积的核心部件之一，主要是通过加热的方式将涂层材料加热到一定温度，从而使其升华成气态物质，最终在衬底或器壁上形成膜层，根据加热方式的不同，蒸发源主要分为电阻加热蒸发源和电子束蒸发源两类，电阻加热蒸发源通过电流薄丝或丝网造成电阻加热，从而升华涂层材料，而电子束蒸发原则利用电子轰击的方式将涂料加热，使其升华成气态物质，蒸发源广泛应用于各种领域，如光学涂层设备、电子器件制备设备以及医疗设备等，用于制备金属膜、抗反射膜、金属和半导体等材料的薄膜以及生物材料和药物缓释膜等，因此需要使用到该饱和气体等级分流模式的蒸发源。
2、如专利公开号为cn107400859a的一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所...
【技术保护点】
1.一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）顶部内壁设置有加热机构（2），所述加热机构（2）包含保护壳（201），保护壳（201）内壁固定连接有固定框（202），固定框（202）内部设置有加热组件，所述固定框（202）顶部中央开设有通孔，通孔内滑动连接有支撑管（203），支撑管（203）外壁固定连接有第一连接板（204），所述第一连接板（204）底部四个拐角安装有弹簧（205），弹簧（205）一端和固定框（202）顶部外壁相接触，所述支撑管（203）底部外壁固定连接有限位卡块（206），支撑管（203）一端固定连接有弧形第一固定板（...
【技术特征摘要】
1.一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）顶部内壁设置有加热机构（2），所述加热机构（2）包含保护壳（201），保护壳（201）内壁固定连接有固定框（202），固定框（202）内部设置有加热组件，所述固定框（202）顶部中央开设有通孔，通孔内滑动连接有支撑管（203），支撑管（203）外壁固定连接有第一连接板（204），所述第一连接板（204）底部四个拐角安装有弹簧（205），弹簧（205）一端和固定框（202）顶部外壁相接触，所述支撑管（203）底部外壁固定连接有限位卡块（206），支撑管（203）一端固定连接有弧形第一固定板（207），第一固定板（207）两侧固定连接有弧形第一弹性板（208），所述支撑管（203）内壁滑动连接有连接柱（209），连接柱（209）一端和第一固定板（207）底部相接触，所述保护壳（201）底部固定连接有支撑柱（214），支撑柱（214）一端固定连接有第一分级板（3），第一分级板（3）和外壳（1）内壁之间相连接，所述第一分级板（3）底部固定连接有连接管（4），连接管（4）底部固定连接有第二分级板（5），第二分级板（5）外壁和外壳（1）内壁之间相连接，所述第二分级板（5）顶部开设有等距的通孔，通孔外设置有开合机构（6），开合机构（6）底部设置有调节机构（7）。
2.根据权利要求1所述的一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，其特征在于：所述加热组件包含支撑板（210），支撑板（210）底部四个拐角固定连接有加热杆（211），所述加热杆（211）外壁设置有加热器（212），加热器（212）一侧电性连接有第一安装块（213），所述第一安装块（213）一侧和固定框（202）内壁之间电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，其特征在于：所述开合机构（6）包含转动板（601），转动板（601）内壁转动连接有第二连接板（602），第二连接板（602）和第二分级板（5）之间连接，所述第二连接板（602）顶部转动连接有多个开合页（603），所述转动板（601）顶部开设有和开合页（603）对应的滑动槽（604），滑动槽（604）内壁滑动连接有第一限位轮（605），所述第一限位轮（605）一侧和开合页（603）...
【专利技术属性】
技术研发人员：李剑飞，刘华林，郝文涛，王超，黄小卫，
申请(专利权)人：蒙城繁枫真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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