下载一种饱和气体等级分流模式的蒸发源的技术资料

文档序号:42303616

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本发明公开了一种饱和气体等级分流模式的蒸发源,涉及蒸镀技术领域。包括外壳,所述外壳顶部内壁设置有加热机构,所述加热机构包含保护壳,所述保护壳内壁固定连接有固定框。本发明通过加热机构、开合机构和调节机构的设置,在使用过程中,首先将蒸发材料放置...
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