下载一种不锈钢炉管以及LPCVD设备的技术资料

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本技术涉及太阳能光伏技术领域,特别涉及一种不锈钢炉管以及LPCVD设备。该不锈钢炉管包括不锈钢管体,不锈钢管体的至少内壁表面设有过渡层,过渡层的热膨胀系数介于不锈钢管体的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间;位于不锈钢管体的内壁表面的过渡层中...
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