一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，涉及加热技术领域，通过感应线圈、保温棉、感温元件和电磁控制器构建自控温热辅助装置，获取控温过程的载气管道实时温度数据存储于数据库中；将实时温度数据与预设温度范围进行比较，判断管道温度状态，进而计算温度调节值，根据所述温度调节值对感应线圈温度进行调节，获得调节结果；通过预设温度范围和当前实时温度数据判断温度损耗情况，当温度存在损耗时，计算管道温度损耗值，进而计算温度补偿值，对温度进行判定补偿，本发明专利技术加热迅速且稳定，载气管道整体稳定度均匀，无温度死角；经过多次工艺后载气管道内无沉积物，提高了耗材管道的利用率和产品合格率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，涉及加热，具体涉及cvd真空炉载气管道自控温热辅助。

技术介绍

1、电磁感应加热技术是一种直接非接触式加热方式。该技术以交变电流为基础，交变电流产生交变磁场，磁场内金属导体通过磁力线时，产生感应电流，此时的导体相当于一个闭合回路，也称涡流。涡流作用于导体表面时，会使金属内部电子异常活跃，相互摩擦而升温。电磁感应加热技术热转化率较高，最高可达95％。电磁感应加热技术目前也应用到了各种领域，例如：专利cn213073151u中，将电磁感应技术应用到了防爆领域,在保证设备运输易燃气体的同时，维持设备正常工作温度；专利cn109640423a中将电磁感应加热技术应用到了管道原油传输领域，提高管道的运输效率。但是目前对于电磁感应加热技术在cvd真空炉载气管道方面没有应用。

2、cvd是指将气态反应物或者液态反应物的蒸汽以合理的流速引入反应室，并在衬底表面反应沉积为固相。当反应物为固相时，常需要将反应物进行加热升华为气相，再由氩气(ar)载入反应仓中。当固相反应物升华后的蒸汽途经载气管道时，会本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置控温模块包括：

3.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度调节模块包括：

4.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块包括：

5.根据权利要求1所述一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块还包括：

6.一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助方法，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述装置控温模块包括：

3.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度调节模块包括：

4.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块包括：

5.根据权利要求1所述一种cvd真空炉载气管道自控温热辅助装置，其特征在于，所述温度补偿模块...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡滨旭，何少龙，李翔翔，胡任浩，丁柳宁，朱世相，
申请(专利权)人：浙江六方半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：