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本发明提出了一种CVD真空炉载气管道自控温热辅助装置及方法，涉及加热技术领域，通过感应线圈、保温棉、感温元件和电磁控制器构建自控温热辅助装置，获取控温过程的载气管道实时温度数据存储于数据库中；将实时温度数据与预设温度范围进行比较，判断管道温...
该专利属于浙江六方半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江六方半导体科技有限公司授权不得商用。

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