坩埚内加热加热炉料装置制造方法及图纸

技术编号:4224169 阅读:230 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
坩埚内加热加热炉料装置,其构成包括:保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)和坩埚盖(5)构成;坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上,所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体(3),所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部,所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。由于坩埚内加热的技术方案,加热体几乎只对坩埚加热,热损耗小,热用率高,升温速度快;加热体在坩埚的内部,降低了加热体所占用的炉内空间,坩埚容量增大,装料量增加,每炉制备镀膜材料达100余kg,产量提高两倍,恒温耗电功率只有3万瓦。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及坩埚内加热加热炉料装置。技术背景现在,由MgR或Si02制备镀膜材料的制备镀膜材料的老式制备 装置结构的剖面示意图,如图1所示,其由炉体及保温层15、坩埚6、 加热体7和上盖8构成;所述的加热体7置于坩埚6和保温层15的 内层之间,上盖8置于炉体及保温层15的上部。所述的加热体7与 和坩埚6的外层及保温层15的内层之间要有较大的空隙以免造成连 电,加热体7与和坩埚6的外层及保温层15的内层之间均要有20mm 以上较大的空隙。其存在的问题是加热体7对装料坩埚6加热的同 时也对保温层15的内层加热,加热炉料的热利用率低,造成热损耗 大,浪费能源;由于加热体使用时占用空间大,加热炉料装置的体积 也会大,或者,为了保持一定体积就必须把坩埚6的体积縮小,于是 就减少装料,也造成制备材料的效率降低。所以每炉只能制备镀膜材 料20kg-50 kg ,恒温耗电功率在3万瓦左右。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供了柑埚内加热加热炉料 装置。本技术的坩埚内加热加热炉料装置可以使用粉末或颗粒状 的材料,尤其是用MgK或Si02制备镀膜材料。该加热炉料装置构成 的结构剖面示意图如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
坩埚内加热加热炉料装置,其特征在于,其构成包括:保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)、坩埚盖(5)和支座(13、14);所述的坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上,所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱,该中空的圆柱内置有加热体(3),所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部,所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:任兵刘占国刘硕
申请(专利权)人:长春晶科光电有限公司
类型:实用新型
国别省市:82[中国|长春]

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