【技术实现步骤摘要】
本技术涉及进出料装置，具体为一种晶圆清洗的进出料装置。
技术介绍
1、晶圆清洗的进出料装置是在晶圆清洗时方便进出料的设备，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，晶圆清洗，是将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺，是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。
2、现有技术中的晶圆在清洗时，需要通过人工对晶圆进行上下料来配合清洗设备对晶圆进行清洗操作，不仅操作繁琐，且晶圆的一面清洗完毕后，还需要再次通过人工操作将晶圆进行翻面，以保证晶圆正反两面都得到清洗，对晶圆的清洗效率有很大影响，因此，针对上述问题提出一种晶圆清洗的进出料装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种晶圆清洗的进出料装置，以解决现有技术中的晶圆在清洗时，需要通过人工对晶圆进行上下料来配合清洗设备对晶圆进行清洗操作，不仅操作繁琐，且晶圆的一面清洗完毕后，还需要再次通过人工操作...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗的进出料装置，包括工作台(1)和电缸(2)，其特征在于：所述工作台(1)一侧固定连接有电缸(2)，所述电缸(2)上端固定连接有第一电机(3)，所述第一电机(3)主轴末端固定连接有调节框(4)，所述工作台(1)上端设有清理头(5)，所述调节框(4)一侧固定连接有第二电机(6)，所述第二电机(6)主轴末端固定连接有双向螺纹杆(7)，所述双向螺纹杆(7)外侧螺旋连接有螺块(8)，所述螺块(8)一侧固定连接有多级空心伸缩杆(9)，所述螺块(8)一侧固定连接有两极空心伸缩杆(10)，所述螺块(8)一侧固定连接有弹簧(11)，所述两极空心伸缩杆(10)一侧固定连接...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗的进出料装置，包括工作台(1)和电缸(2)，其特征在于：所述工作台(1)一侧固定连接有电缸(2)，所述电缸(2)上端固定连接有第一电机(3)，所述第一电机(3)主轴末端固定连接有调节框(4)，所述工作台(1)上端设有清理头(5)，所述调节框(4)一侧固定连接有第二电机(6)，所述第二电机(6)主轴末端固定连接有双向螺纹杆(7)，所述双向螺纹杆(7)外侧螺旋连接有螺块(8)，所述螺块(8)一侧固定连接有多级空心伸缩杆(9)，所述螺块(8)一侧固定连接有两极空心伸缩杆(10)，所述螺块(8)一侧固定连接有弹簧(11)，所述两极空心伸缩杆(10)一侧固定连接有水流板(12)，所述水流板(12)一侧固定连接有连接管(13)，所述连接管(13)下端一侧固定连接有连接块(14)，所述连接块(14)一侧固定连接有弹簧伸缩杆(15)，所述连接块(14)上端内侧转动连接有橡胶外圈(16)，所述水流板(12)内侧开设有流水凹槽(17)，所述水流板(12)下端内侧转动连接有固定杆(18)，所述固定杆(18)外侧固定连接有水板(19)，所述橡胶外圈(16)内侧固定连接有支撑壳(20)，所述支撑壳(20)内侧开设有通水孔(21)，所述调节框(4)一侧固定连接有水泵(22)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗的进出料装置，其特征在于：所述螺块(8)的数量两个，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨天生，王小波，高叶，
申请(专利权)人：苏州芯汇晶成半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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