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本技术涉及进出料装置技术领域，尤其为一种晶圆清洗的进出料装置，包括工作台和电缸，工作台一侧固定连接有电缸，电缸上端固定连接有第一电机，第一电机主轴末端固定连接有调节框，工作台上端设有清理头，调节框一侧固定连接有第二电机，第二电机主轴末端固定...
该专利属于苏州芯汇晶成半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯汇晶成半导体科技有限公司授权不得商用。

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