【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容一般地涉及发光二极管，并且更特别地，涉及一种用于检验微发光二极管(led)阵列面板的检验工具。
技术介绍
1、具有超小面积和高分辨率的微led在世界上越来越受欢迎。微led阵列面板可以用于形成各种种类的装置，例如摄像模块、投影模块、显示模块、vr/ar光学模块等。
2、然而，由于微led阵列面板显示的图像和发光面积比以前小得多，因此微led阵列面板的像素缺陷不容易通过常规方法进行检测和识别。因而，操作者需要通过显示微led面板的各种图案图像的图形用户界面来查看晶圆、芯片和掩模，以识别图案缺陷。
3、此外，微led阵列面板的发光面积非常小，例如为3mm×5mm。但是，用于收集包括在微led阵列面板中的微led阵列发出的光的光收集器由于光收集器中的各种光学组件而收集面积无法与微led阵列面板的发光面积一样小。因此，图像采集过程和光收集过程无法同时进行。此外，如果同时进行光收集过程和图像采集过程，则进入光收集器的光将减弱，从而降低图像精度。
4、以上内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不构成承认上述内容为现有技术。
技术实现思路
1、为了克服上述缺点，本公开内容提供了一种用于检验微led阵列面板的检验工具，以提高检测效率和检测精度。
2、为了实现上述目的，根据本公开内容的用于检验微发光二极管(led)阵列面板的检验工具包括：
3、光收集器组，被配置成收集从包括在微led阵列面板中的微led阵列发出的光；
5、光测量装置，与光收集器组电连接以接收由光收集器组收集的光，以及被配置成测量从微led阵列的一个或更多个部分发出的光，
6、其中，光收集器组设置在微led阵列面板上方，以收集从微led阵列的任意位置发出的光；光收集器组包括第一光收集器和第二光收集器；其中，第一光收集器与图像探测器连接，以及第二光收集器与光测量装置电连接；其中，第一光收集器组和第二光收集器组配置在夹具元件上，以及，夹具元件可向任意方向旋转。
7、在一些实施方案中，第一光收集器经由旋转夹具元件而设置在微led阵列上方并且与微led阵列垂直地对齐；以及，第一光收集器被配置成将微led阵列发出的光引导至图像探测器。
8、在一些实施方案中，第二光收集器经由旋转夹具元件而设置在微led阵列上方并且与微led阵列相对；以及，第二光收集器被配置成收集从微led阵列的一个或更多个部分发出的光。
9、在一些实施方案中，第一光收集器的探测面积不小于微led阵列的发光面积。
10、在一些实施方案中，第二光收集器的探测面积大于微led阵列的发光面积。
11、在一些实施方案中，第二光收集器的探测面积小于或等于微led阵列的发光面积。
12、为了实现上述目的，用于检验微led阵列面板的检验系统至少包括前述检验工具。
13、在一些实施方案中，检验系统还包括样品台，用于支撑微led阵列面板。
14、通过以下详细描述和附图，将进一步理解本公开内容的许多其他优点和特征。
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1.一种用于检验微发光二极管(LED)阵列面板的检验工具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于检验所述微LED阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第一光收集器经由旋转所述夹具元件而设置在所述微LED阵列上方并且与所述微LED阵列垂直地对齐；以及，所述第一光收集器被配置成将所述微LED阵列发出的光引导至所述图像探测器。
3.根据权利要求2所述的用于检验所述微LED阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第二光收集器经由旋转所述夹具元件而设置在所述微LED阵列上方并且与所述微LED阵列相对；以及，所述第二光收集器被配置成收集从所述微LED阵列的一个或更多个部分发出的光。
4.根据权利要求3所述的用于检验所述微LED阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第一光收集器的探测面积不小于所述微LED阵列的发光面积。
5.根据权利要求4所述的用于检验所述微LED阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第二光收集器的探测面积大于所述微LED阵列的发光面积。
6.根据权利要求4所述的用于检验所述微LED阵列面板的检验工具，其特征在于，所
7.一种用于检验微LED阵列面板的检验系统，其特征在于，至少包括根据权利要求1所述的检验工具。
8.根据权利要求7所述的检验系统，其特征在于，所述检验系统还包括样品台，用于支撑所述微LED阵列面板。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于检验微发光二极管(led)阵列面板的检验工具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于检验所述微led阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第一光收集器经由旋转所述夹具元件而设置在所述微led阵列上方并且与所述微led阵列垂直地对齐；以及，所述第一光收集器被配置成将所述微led阵列发出的光引导至所述图像探测器。
3.根据权利要求2所述的用于检验所述微led阵列面板的检验工具，其特征在于，所述第二光收集器经由旋转所述夹具元件而设置在所述微led阵列上方并且与所述微led阵列相对；以及，所述第二光收集器被配置成收集从所述微led阵列的一个或更多个部分发出的光。
4.根据权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐晨超，岳杨，李起鸣，
申请(专利权)人：上海显耀显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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