电源板卡、电源板卡的精度补偿方法和测试机技术

本申请涉及一种电源板卡及其精度补偿方法和测试机，控制模块在测量电流时，控制通道切换模块接入负载，使前向输出通道模块输出测试信号至负载，并读取电流测量通道模块的电流测量值，和电压测量通道模块的电压测量值；根据读取的电流测量值、电压测量值和预设的补偿参考数据进行测量电流补偿，得到补偿后的电流。控制模块在输出电流时，控制通道切换模块接入负载，使前向输出通道模块根据设定电流值输出电流至负载，读取电流测量通道模块的电流测量值，和电压测量通道模块的电压测量值；根据读取的电流测量值、电压测量值和预设的补偿参考数据对设定电流值进行补偿得到补偿后的设定电流，并根据补偿后的设定电流控制前向输出通道模块输出电流。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体测试，特别是涉及一种电源板卡、电源板卡的精度补偿方法和测试机。

技术介绍

1、半导体自动化测试，指的是利用自动测试设备（automatic test equipment，ate）对待测试器件（device under test，dut）的各项参数指标进行检测，剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。电源板卡在半导体测试设备中用于给被测芯片提供电压或电流激励，通常具有电压输出（fv）、电压测量（mv）、电流输出（fi）和电流测量（mi）功能及其组合。

2、电源板卡的mi电路多采用高端采样，mi值为采样电阻两端的差模电压除以采样电阻，此时被测单元dut上的电压和线阻产生的电压和，会成为mi采样电阻两端的共模信号，在使用减法器计算采样电阻两端的差模电压时会受到该共模电压的影响，从而影响mi的精度。在数字环路控制的电源板卡中，fi的精度由mi的精度来决定，因此fi和mi都会受到共模电压的影响，特别是在高精度指标下，fi和mi在较高电压下的误差是无法接受的。如何提高电源板卡的fi和mi的精度，是一个亟待解决的问题。>

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电源板卡，其特征在于，包括控制模块、前向输出通道模块、电流测量通道模块、电压测量通道模块和通道切换模块，所述控制模块连接所述前向输出通道模块、所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块和所述通道切换模块，所述前向输出通道模块连接所述电流测量通道模块，所述通道切换模块连接所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块和负载；

2.根据权利要求1所述的电源板卡，其特征在于，所述控制模块包括控制器和存储器，所述控制器连接所述前向输出通道模块、所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块、所述通道切换模块和所述存储器；所述控制器控制所述通道切换模块接入校准模块或所述负载时，获取所述...

【技术特征摘要】

1.一种电源板卡，其特征在于，包括控制模块、前向输出通道模块、电流测量通道模块、电压测量通道模块和通道切换模块，所述控制模块连接所述前向输出通道模块、所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块和所述通道切换模块，所述前向输出通道模块连接所述电流测量通道模块，所述通道切换模块连接所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块和负载；

2.根据权利要求1所述的电源板卡，其特征在于，所述控制模块包括控制器和存储器，所述控制器连接所述前向输出通道模块、所述电流测量通道模块、所述电压测量通道模块、所述通道切换模块和所述存储器；所述控制器控制所述通道切换模块接入校准模块或所述负载时，获取所述电流测量通道模块和所述电压测量通道模块的测量数据发送至上位机，接收所述上位机根据所述测量数据计算得到的补偿参考数据存入所述存储器。

3.根据权利要求1所述的电源板卡，其特征在于，所述前向输出通道模块包括数模转换模块u5和增益可编程功放模块u6，所述数模转换模块u5连接所述控制模块和所述增益可编程功放模块u6，所述增益可编程功放模块u6连接所述电流测量通道模块。

4.根据权利要求1所述的电源板卡，其特征在于，所述电流测量通道模块包括模数转换模块u2、增益可编程运算放大模块u3、减法器u4和档位调节电路，所述档位调节电路连接所述前向输出通道模块、所述通道切换模块和所述控制模块，所述减法器u4连接所述档位调节电路和所述增益可编程运算放大模块u3，所述模数转换模块u2连接所述增益可编程运算放大模块u3和所述控制模块。

5.根据权利要求1所述的电源板卡，其特征在于，所述电压测量通道模块包括模数转换模块u7、增益可编程运算放大模块u8和减法器u9，所述减法器u9连接所述通道切换模块和所述增益可编程运算放大模块u8，所述模数转换模块u7连接所述增益可编程运算放大模块u8和所述控制模块。

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾忠营，李冬生，王宇航，孟令武，王雷，郑忠明，周瑞杰，杨鹏，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：