【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备运动平台，具体为一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构。
技术介绍
1、六自由度运动平台包括粗动台和微动台两个部分，其中微动台实现x、y、z、rx、ry和rz小范围内的运动和定位，粗动部分实现x、y长行程范围内的运动和定位，两者结合共同实现大范围内六自由的运动和定位。微动台动子和定子之间存在间隙，工作时动子相对定子是悬浮的，围绕着一个零点位置进行转动和移动；断电不工作时，在重力作用下，动子随机落在定子的限位机构上。六自由度运动平台的机械零点通常作为装配基准点，该机械零点是用来保证运动平台和整机其它部件的相对位置关系，因此需要确定该机械零点在整机中具体位置，从而保证运动平台在整机中的装配精度。该零点位置是空间的某一点，由于运动平台的装配和控制误差等因素，使用其本身的传感器无法准确地测量该零点在空间中的具体位置，因此需要使用第三方传感器测量并标定零点在空间的具体位置。
2、现有技术通常采用六自由度运动平台本身的传感器和限位机构来标定机械零位，或者采用整机的零位传感器进行机械零位的标定。第一种方法由于缺乏...
【技术保护点】
1.一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构，其特征在于：包括大理石基准平台(1)、六自由度运动平台(2)、零位基准台(3)、固定基座(10)、滑动横梁(6)和控制器(11)，所述六自由度运动平台(2)设置在大理石基准平台(1)中间的位置，零位基准台(3)和固定基座(10)分别设置在六自由度运动平台(2)附近，固定基座(10)上方滑动连接有滑动导轨(9)，滑动横梁(6)固定在滑动导轨(9)上，滑动横梁(6)端部设置有第一激光测距仪(5)，滑动横梁(6)下方靠近中间的位置设有转接件(7)，转接件(7)上设有第二激光测距仪(8)；六自由度运动平台(2)包括粗动X轴(2...
【技术特征摘要】
1.一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构，其特征在于：包括大理石基准平台(1)、六自由度运动平台(2)、零位基准台(3)、固定基座(10)、滑动横梁(6)和控制器(11)，所述六自由度运动平台(2)设置在大理石基准平台(1)中间的位置，零位基准台(3)和固定基座(10)分别设置在六自由度运动平台(2)附近，固定基座(10)上方滑动连接有滑动导轨(9)，滑动横梁(6)固定在滑动导轨(9)上，滑动横梁(6)端部设置有第一激光测距仪(5)，滑动横梁(6)下方靠近中间的位置设有转接件(7)，转接件(7)上设有第二激光测距仪(8)；六自由度运动平台(2)包括粗动x轴(201)、粗动y轴(202)、微动台(203)，粗动y轴(202)设置在粗动x轴(201)上方，微动台(203)设置在粗动y轴(202)上，微动台(203)上方设置有超平片(4)，并且微动台(203)的侧边设置有x轴反射镜(204)和y轴反射镜(205)。
2.根据权利要求1所述的一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构，其特征在于：所述粗动x轴(201)包括x轴直线导轨(206)、x轴直线电机(207)、x轴固定座(208)、x轴光栅尺(209)以及x轴读数头(210)，x轴固定座(208)固定在大理石基准平台(1)上，x轴直线导轨(206)设置在x轴固定座(208)上方靠近侧边的位置，x轴光栅尺(209)和x轴读数头(210)设置在x轴固定座(208)靠近中间的位置。
3.根据权利要求1所述的一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构，其特征在于：所述粗动y轴(202)包括y轴直线导轨(212)、y轴直线电机(213)、y轴固定座(214)、y轴光栅尺(215)以...
【专利技术属性】
技术研发人员：文卫朋，樊总占，徐燕祎，李津铭，段萌萌，
申请(专利权)人：上海大尘微影半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。