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本技术属于半导体设备运动平台技术领域，具体公开了一种六自由度运动平台机械零位离线快速校准机构，包括大理石基准平台、六自由度运动平台、零位基准台、固定基座、滑动横梁，所述六自由度运动平台设置在大理石基准平台中间的位置，零位基准台和固定基座分别...
该专利属于上海大尘微影半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海大尘微影半导体科技有限公司授权不得商用。

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