【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光电子制造，特别涉及一种衬底和发光二极管。
技术介绍
1、发光二极管(英文：light emitting diode，简称：led)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。led的核心结构是外延片，外延片的制作对led的光电特性有着较大的影响。
2、相关技术中，gan基led通常采用蓝宝石衬底作为生长外延层的基底。蓝宝石衬底通常是图形化衬底，图形化衬底会采用刻蚀的方式，在用于生长外延层的表面形成具有周期性的图形结构，这些图形结构有利于提升后续生长的外延层的晶体质量。
3、生长外延层的过程中，由于蓝宝石衬底的边缘区域温度要低于中央区域的温度，因而蓝宝石衬底的边缘区域的生长外延层的难度更大。并且，对于图形化衬底，其上的图形结构通常在5μm左右，尺寸较大的图形结构也会进一步增大外延生长难度，因此，就会导致蓝宝石衬底上不同区域的外延生长速率不同的问题，进而导致后续生长的外延层的厚度均匀性较差。
【技术保护点】
1.一种衬底，其特征在于，所述衬底包括基底(11)和位于所述基底(11)的表面的多个凸起(12)，所述多个凸起(12)间隔排布；
2.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的高度的比值为1.52至2.70。
3.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的间距的比值为5.30至20.5。
4.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，各所述凸起(12)的最大宽度均相同，各所述凸起(12)的高度均相同；或者，各所述凸起(12)的最大宽度不同，且各...
【技术特征摘要】
1.一种衬底，其特征在于，所述衬底包括基底(11)和位于所述基底(11)的表面的多个凸起(12)，所述多个凸起(12)间隔排布；
2.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的高度的比值为1.52至2.70。
3.根据权利要求1所述的衬底，其特征在于，所述凸起(12)的最大宽度与所述凸起(12)的间距的比值为5.30至20.5。
4.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，各所述凸起(12)的最大宽度均相同，各所述凸起(12)的高度均相同；或者，各所述凸起(12)的最大宽度不同，且各所述凸起(12)的高度不同。
5.根据权利要求1至3任一项所述的衬底，其特征在于，所述基底(11)的表面具有多个平行间隔的图形组，每个所述图形组均包括沿同一直线间隔排布的多个所述凸起(12)；
【专利技术属性】
技术研发人员：陈张笑雄，朱宸綦，龚逸品，
申请(专利权)人：京东方华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。