反极性发光二极管及其制备方法技术

本公开提供了一种反极性发光二极管及其制备方法，属于光电子制造技术领域。该发光二极管包括：衬底、第一透明导电层、介质层、粘附层和外延层，所述第一透明导电层、所述介质层、所述粘附层和所述外延层依次层叠在所述衬底上；所述粘附层与所述外延层的粘附性大于所述介质层与所述外延层的粘附性，且所述粘附层与所述介质层的粘附性大于所述介质层与所述外延层的粘附性。本公开实施例能改善介质层易与外延层脱落的问题。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光电子制造，特别涉及一种反极性发光二极管及其制备方法。

技术介绍

1、反极性发光二极管(reverse polarity light emitting diodes，简称rpled)，也叫做“逆向led”。它的工作原理与普通的发光二极管相反，当给rpled施加反向电压时，其pn结处的载流子会与夹杂在其中的杂质离子复合，产生能量释放，使rpled发出光芒。

2、反极性发光二极管通常采用垂直结构，反极性垂直发光二极管包括依次层叠的衬底、反射镜层、透明导电层、介质膜和外延层。在介质膜上设有露出透明导电层的通孔，通孔内设置有欧姆接触材料，以使得透明导电层能通过通孔与外延层电性连接。

3、对于高性能植物照明的发光二极管，通常会搭配多层介质膜，以提高植物照明发光二极管的ppe(photosynthetic photon efficacy，光合光子效率)。然而，在制备发光二极管的过程中，存在多层介质膜与外延层脱落的问题。

技术实现思路

1、本公开实施例提供了一种反极性发光二极管及其制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种发光二极管，其特征在于，所述发光二极管包括：衬底(10)、第一透明导电层(21)、介质层(30)、粘附层(40)和外延层(80)，所述第一透明导电层(21)、所述介质层(30)、所述粘附层(40)和所述外延层(80)依次层叠在所述衬底(10)上；

2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述粘附层(40)包括氧化铟锡层、氧化铟锌层、氧化铝层和氮化硅层中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述介质层(30)包括绝缘氧化物层和氟化镁层中的至少一种。

4.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管，其特征在于，所述外延...

【技术特征摘要】

1.一种发光二极管，其特征在于，所述发光二极管包括：衬底(10)、第一透明导电层(21)、介质层(30)、粘附层(40)和外延层(80)，所述第一透明导电层(21)、所述介质层(30)、所述粘附层(40)和所述外延层(80)依次层叠在所述衬底(10)上；

2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述粘附层(40)包括氧化铟锡层、氧化铟锌层、氧化铝层和氮化硅层中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述介质层(30)包括绝缘氧化物层和氟化镁层中的至少一种。

4.根据权利要求1至3任一项所述的发光二极管，其特征在于，所述外延层(80)的靠近所述衬底(10)的表面具有多个间隔排布的凸起(83)；

5.根据权利要求4所述的发光二极管，其特征在于，所述发光二极管还包括反射镜层(70)和键合层(60)，所述反射镜层(70)覆盖在所述第一透明导电层(21)的靠近所述衬底(10)的表面上；

6.根据权利要求5所述的发光二极管，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杭伟，王洪占，黄庆，许晏铭，
申请(专利权)人：京东方华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：