一种FTIR检测红外光路的上下光路模组制造技术

本技术涉及晶圆检测设备技术领域，具体涉及一种FTIR检测红外光路的上下光路模组，用于反射FTIR红外发生仪发出的红外光，还包括安置在壳体上的上光路模组、与上光路模组相对设置的下光路模组以及设置在上光路模组与下光路模组之间的可旋转的载物平台，上光路模组用以反射红外光以形成第一光路，下光路模组用以折射红外光以形成第二光路，载物平台用以安置待测物，在现有技术的基础上，改进了上下光路模组，于上光路模组与下光路模组之间增设可旋转的载物平台，在对待测物进行检测时，可利用载物平台旋转来调节待测物的角度，进而满足红外光在经上光路模组和下光路模组时候的检测需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆检测设备，尤其涉及一种ftir检测红外光路的上下光路模组。

技术介绍

1、在对晶圆进行性能检测时，多使用ftir也即傅里叶变换红外光谱仪，在确认晶圆的外延层厚度和元素浓度时，需要ftir进行光学检测和表征，红外光束通过晶圆表面被散射，随后被傅里叶变换器转换为频谱信号，通过对这些频谱信号的分析，可以获得晶圆的外延层厚度、元素浓度等关键参数的信息；

2、因此，傅里叶变换红外光谱仪的光路在晶圆检测过程中有着较为重要的作用，而现有技术中并未涉及到对于光路模组的设计，对于待测的晶圆而言，无法根据检测需要进行角度调节，致使检测准确性受限。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种ftir检测红外光路的上下光路模组，旨在解决对于ftir检测中待测晶圆无法根据检测需要进行角度调节，导致检测准确性受限的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供了一种ftir检测红外光路的上下光路模组，用于反射ftir红外发生仪发出的红外光，还包括安置在壳体上的上光路模组、与所述上光路模组相对设置的下光路模组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种FTIR检测红外光路的上下光路模组，用于反射FTIR红外发生仪发出的红外光，其特征在于，

2.如权利要求1所述的FTIR检测红外光路的上下光路模组，其特征在于，

3.如权利要求2所述的FTIR检测红外光路的上下光路模组，其特征在于，

4.如权利要求3所述的FTIR检测红外光路的上下光路模组，其特征在于，

5.如权利要求4所述的FTIR检测红外光路的上下光路模组，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种ftir检测红外光路的上下光路模组，用于反射ftir红外发生仪发出的红外光，其特征在于，

2.如权利要求1所述的ftir检测红外光路的上下光路模组，其特征在于，

3.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：哈捷，吴志锋，
申请(专利权)人：阿博索伯苏州自动化设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：