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本技术涉及晶圆检测设备技术领域，具体涉及一种FTIR检测红外光路的上下光路模组，用于反射FTIR红外发生仪发出的红外光，还包括安置在壳体上的上光路模组、与上光路模组相对设置的下光路模组以及设置在上光路模组与下光路模组之间的可旋转的载物平台，...
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