化学机械抛光用运载器安全装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的是提供一种化学机械抛光用运载器安全装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有可固定于运载器上的座体，该座体上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。当运载器与运载器法兰直接采用真空固定时，本实用新型专利技术起到运载器不会从运载器法兰滑落的安全作用，其结构简单紧凑，能满足生产要求，构思精巧，布局合理，工作稳定可靠，便于维护，使用寿命较长。特别适用于运载器与运载器法兰采用真空连接的这类ＣＭＰ设备以及其它具有与化学机械抛光（ＣＭＰ）相似工艺要求的半导体设备上。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学机械抛光(CMP)设备

技术介绍
化学机械抛光(CMP)是一种对半导体材料或是其它类型的材料的衬底进行平坦 化或是抛光的方法。运载器是化学机械抛光(CMP)的重要部件，对抛光速度、抛光质量都有 着至关重要的影响。运载器安全机构作为运载器与运载器法兰连接部件很重要，当CMP的 运载器与运载器法兰直接采用真空固定时，因真空丢失时会引起运载器从运载器法兰上的 滑落引起安全生产隐患，故应予解决以满足生产要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种化学机械抛光用运载器安全装置，当运载器与运载 器法兰直接采用真空固定时，能起到运载器不会从运载器法兰滑落的安全作用，其结构简 单，可使工作稳定安全可靠，能满足生产要求，使用寿命较长。特别适用于运载器与运载器 法兰采用真空连接的这类CMP设备以及其它具有与化学机械抛光(CMP)相似工艺要求的半 导体设备上。本技术的主要技术方案是一种化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在 于具有可固定于运载器上的座体，该座体上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合 机构。所述的座体可为可固定于运载器上的座体，所述的离合机构为座体上设有滑轨， 滑轨上装有滑块，滑块和座体间设有复位弹簧及开合机构；在运载器上装有上述结构2、3、 4、或4套以上。所述的离合机构也可为丝杠或顶丝式等构成的固定离合机构。所述的复位弹簧为压簧，所述的开合机构的结构为具有转杆，该转杆通过转轴装 在座体上，转杆的一端为操作端，另一端通过轴和连杆相连，该连杆通过小轴和滑块绞联。 所述的复位弹簧也可为拉簧，所述的开合机构的结构也可为螺栓等。所述的转杆也可先通过转轴装在小固定架上，再由小固定架装在座体的槽中。工 艺方便。本技术的积极效果是可以解决因真空丢失时引起的运载器的滑落，其结构 简单紧凑，构思精巧，布局合理，能满足抛光工艺要求和生产要求，工作稳定安全可靠，使用 方便，便于维护，使用寿命较长。为一种运载器与运载器法兰直接采用真空固定时的保险机 构。特别适用于运载器与运载器法兰采用真空连接的这类CMP设备以及其它具有与化学机 械抛光(CMP)相似工艺要求的半导体设备上。以下结合附图及实施例作详述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1是本技术的安装使用及整体外观示意图。图2是本技术一个实施例的结构示意图。图3是图2中转杆操作部分的结构示意图。图4是图2中的滑块41的结构示意图。图1 图4中，1.运载器，2.运载器法兰，3.座体，31.滑轨，4.离合机构，41.滑 块，42.盖子，43.复位弹簧，44.转杆，45.转轴，46.小固定架，47.轴，48.连杆，49.小轴， 50.槽口。具体实施方式参见图1、图4，该化学机械抛光用运载器安全装置，具有可固定于运载器1上的座 体3，该座体3上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构4。座体3为可固定于 运载器1上的座体，所述的离合机构4为座体3上设有滑轨31，滑轨31上装有滑块41，滑 块41和座体3间设有复位弹簧43及开合机构；在运载器1上装有2、3、4、或4套以上该装 置。复位弹簧43为压簧，所述的开合机构的结构为具有转杆44，转杆44的一端为操作端， 另一端通过轴47和连杆48相连，该连杆48通过小轴49及槽口 50和滑块41的槽口 50绞 联，转杆44先通过转轴45装在小固定架46上，再由小固定架46装在座体3的槽中。运载 器安全机构与运载器法兰的分离、夹紧由作用于转杆44及连杆机构的外力、压簧的回复力 实现。通过操纵转杆44，把转杆44上的圆弧运动通过曲柄连杆机构转为滑块的直线运动。上述的小固定架46通过两个螺钉安装在座体3上，座体3上通过两个螺钉固定在运载器上。上述的滑块41可沿座体3上的的滑轨31进行滑动，上述压簧一端与滑块41上 的凹槽接触，压簧另一端与座体3的内侧接触，滑块41的运动通过压簧和转杆44进行，通 过下压转杆44上的手柄可以实现运载器安全机构与运载器法兰的分离，无外力作用转杆 44上的手柄时，压簧的回复力实现运载器安全机构与运载器法兰的夹紧，起到因真空丢失 时运载器不会从运载器法兰上滑落的安全作用。经试用，效果很好。权利要求一种化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于具有可固定于运载器(1)上的座体(3)，该座体(3)上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。2.根据权利要求1所述的化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于所述的座体 (3)为可固定于运载器(1)上的座体，所述的离合机构为座体(3)上设有滑轨(31)，滑轨 (31)上装有滑块(41)，滑块(41)和座体(3)间设有复位弹簧(43)及开合机构；在运载器 (1)上装有上述结构2、3、4、或4套以上。3.根据权利要求2所述的化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于所述的复位弹 簧(43)为压簧，所述的开合机构的结构为具有转杆(44)，该转杆(44)通过转轴(45)装在 座体(3)上，转杆(44)的一端为操作端，另一端通过轴(47)和连杆(48)相连，该连杆(48) 通过小轴(49)和滑块(41)绞联。4.根据权利要求3所述的化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于所述的转杆 (44)先通过转轴(45)装在小固定架(46)上，再由小固定架(46)装在座体(3)的槽中。专利摘要本技术的目的是提供一种化学机械抛光用运载器安全装置，涉及化学机械抛光设备
具有可固定于运载器上的座体，该座体上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。当运载器与运载器法兰直接采用真空固定时，本技术起到运载器不会从运载器法兰滑落的安全作用，其结构简单紧凑，能满足生产要求，构思精巧，布局合理，工作稳定可靠，便于维护，使用寿命较长。特别适用于运载器与运载器法兰采用真空连接的这类CMP设备以及其它具有与化学机械抛光(CMP)相似工艺要求的半导体设备上。文档编号H01L21/02GK201573109SQ20092021725公开日2010年9月8日 申请日期2009年9月24日 优先权日2009年9月24日专利技术者李伟, 柳滨, 郭强生, 陈威 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学机械抛光用运载器安全装置，其特征在于具有可固定于运载器（１）上的座体（３），该座体（３）上设有可将运载器法兰与运载器牢固固定的离合机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈威，柳滨，李伟，郭强生，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]