一种类金刚石碳基涂层及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种类金刚石碳基涂层及其制备方法，制备方法在制备DLC涂层时采用中频磁控电源溅射石墨靶，通过调节工件偏压，调节轰击基体离子能量，进而控制涂层结构体系，制备出一种底层硬、表层软的韧性增强的类金刚石碳基涂层，底部高硬度类金刚石碳基涂层起支撑作用，表层较低硬度类金刚石涂层起缓冲作用，防止DLC涂层裂纹萌生，增强涂层韧性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面涂层改性，尤其涉及一种类金刚石碳基涂层及其制备方法。

技术介绍

1、类金刚石碳基（diamond-like carbon, dlc）是金刚石与石墨的非晶结构，不同的工艺制备dlc涂层，可以获得hv1-8gpa的硬度，可以接近金刚石，摩擦系数约0.005-0.200，可以超越石墨表面的摩擦系数，同时，dlc还具有耐腐蚀，导电率可调节等优点，因此dlc广泛应用在道具、航空航天、汽车发动机、硬盘读写等领域。但dlc的硬度与韧性难以兼顾，dlc涂层难以应用在较软基体上。为了改善dlc涂层韧性，需要将新的涂层结构引入dlc涂层的制备中来，改善dlc涂层的结构韧性。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种底层硬、表层软的韧性增强的类金刚石碳基涂层及其制备方法。

2、为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：

3、一种类金刚石碳基涂层的制备方法，包括以下步骤：

4、s1，对基体进行预处理；

5、s2，采用磁控溅射法在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种类金刚石碳基涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述预处理包括表面物理化学清洗和真空腔室辉光清洗。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤S2包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤A1或A2中，采用HiPIMS电源溅射Cr靶；

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述步骤A4和A5中，所述碳源气体为乙炔气体，所述步骤A1至A5中，所述惰性保护气体为氩气。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种类金刚石碳基涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤s1中，所述预处理包括表面物理化学清洗和真空腔室辉光清洗。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤s2包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤a1或a2中，采用hipims电源溅射cr靶；

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述步骤a4和a5中，所述碳源气体为乙炔气体，所述步骤a1至a5中，所述惰性保护气体为氩气。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述步骤a1中，基体偏压650v，刻蚀...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢焕钧，吴平，罗阳，韩明月，徐长云，李刘合，孟伟，
申请(专利权)人：中国航发中传机械有限公司，
类型：发明
国别省市：