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本发明公开了一种类金刚石碳基涂层及其制备方法，制备方法在制备DLC涂层时采用中频磁控电源溅射石墨靶，通过调节工件偏压，调节轰击基体离子能量，进而控制涂层结构体系，制备出一种底层硬、表层软的韧性增强的类金刚石碳基涂层，底部高硬度类金刚石碳基涂...
该专利属于中国航发中传机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国航发中传机械有限公司授权不得商用。

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