【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造设备，尤其是涉及一种翻转装置及镀膜设备。
技术介绍
1、相关技术中，半导体晶圆封装过程中，基材需要翻转才可以进行到下一道工序中。现有的翻转装置翻转基材的方式为，将基材固定在翻转支架上，然后通过驱动装置驱动翻转支架，从而实现基材的翻转。其中，基材固定在翻转支架上的方式需要工作人员重复拆装基材，这对于工作人员来说尤为不便。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种翻转装置，能够方便工作人员取放基材。
2、本专利技术还提出一种镀膜设备。
3、根据本专利技术的第一方面实施例的翻转装置，包括：
4、夹持组件，包括第一夹持件和第二夹持件；
5、第一驱动组件，连接于所述夹持组件，所述第一驱动组件用于驱动所述第一夹持件和所述第二夹持件互相靠近，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件共同夹紧所述基材；或者，所述第一驱动组件用于驱动所述第一夹持件和所述第二夹持件互相远离，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件释放所述基材；
6、第二驱动组件，连接于所述夹持组件，所述第二驱动组件用于驱动所述夹持组件转动，以使所述夹持组件带动所述基材转动。
7、根据本专利技术实施例的翻转装置，至少具有如下有益效果：夹持组件用来夹持基材，具体地，第一驱动组件连接夹持组件之后，第一驱动组件可以驱动第一夹持件和第二夹持件互相靠近，这可以使第一夹持件和第二夹持件共同夹紧基材，之后，可以通过
8、根据本专利技术的一些实施例的翻转装置，所述第一驱动组件包括第一驱动件和第一转动件，所述夹持组件还包括第一运动件和第一固定件，所述第一驱动件连接于所述第一转动件，所述第一转动件连接于所述第一运动件，所述第一运动件滑动连接于所述第一固定件，所述第一运动件连接于所述第一夹持件，其中，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件运动，所述第一转动件带动所述第一运动件在所述第一固定件上滑动，以使所述第一运动件带动所述第一夹持件靠近或者远离所述第二夹持件。
9、根据本专利技术的一些实施例的翻转装置，所述夹持组件还包括第二运动件和第二固定件，所述第二运动件滑动连接于所述第二固定件，所述第二运动件连接于所述第二夹持件，所述第一转动件具有齿轮，所述齿轮啮合于所述第一运动件和所述第二运动件，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件转动，所述第一转动件带动所述第一运动件和所述第二运动件滑动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件互相靠近或远离。
10、根据本专利技术的一些实施例的翻转装置，所述第二驱动组件包括第二驱动件、第二转动件和中间件，所述第二转动件的一端连接于所述第二驱动件，所述第二转动件的另一端固定连接于所述中间件，所述中间件连接于所述夹持组件，所述第二驱动件能够驱动所述第二转动件转动，所述第二转动件带动所述中间件转动，以使所述中间件带动所述夹持组件转动。
11、根据本专利技术的一些实施例的翻转装置，所述中间件设置有运动腔，所述第一固定件和所述第一运动件均设置于所述运动腔中，所述第一固定件固定连接于所述运动腔的腔壁，所述第二转动件设置有空腔，所述第一转动件的一端穿过所述空腔并位于所述运动腔中。
12、根据本专利技术的一些实施例的翻转装置，所述第二驱动组件还包括密封件，所述密封件设置于所述空腔中，所述密封件分隔于所述空腔和所述运动腔。
13、根据本专利技术的第二方面实施例的镀膜设备，包括：
14、壳体，具有加工腔；
15、如权利要求第一方面实施例中任一项所述的翻转装置，设置于所述加工腔中。
16、根据本专利技术实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：其中，夹持组件用来夹持基材，具体地，第一驱动组件连接夹持组件之后，第一驱动组件可以驱动第一夹持件和第二夹持件互相靠近，这可以使第一夹持件和第二夹持件共同夹紧基材，之后，可以通过第二驱动组件使夹持组件转动，从而将基材翻转，基材翻转之后，第一驱动组件可以使第一夹持件和第二夹持件互相远离，从而释放基材。现有技术中，工作人员在翻转基材的时候，需要重复对基材拆装，这样会导致不方便使用。而在本申请中，夹持组件可以在第一驱动组件的作用下取放基材，这可以方便工作人员使用。具体而言，翻转装置能够方便工作人员取放基材。进一步地，具有该翻转装置的镀膜设备也具有方便使用的特点。
17、根据本专利技术的一些实施例的镀膜设备，所述镀膜设备还包括两个纠偏装置，所述纠偏装置设置于所述加工腔中，两个所述纠偏装置分别位于所述第一夹持件的两侧，所述纠偏装置用于纠偏所述基材。
18、根据本专利技术的一些实施例的镀膜设备，所述纠偏装置包括第三驱动件和纠偏件，所述第三驱动件连接于所述纠偏件，所述第三驱动件用于驱动所述纠偏件靠近或者远离所述夹持组件。
19、根据本专利技术的一些实施例的镀膜设备，所述纠偏装置还包括波纹管，所述波纹管的两端分别连接于所述纠偏件和所述第三驱动件。
20、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.翻转装置，用于翻转基材，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一驱动件和第一转动件，所述夹持组件还包括第一运动件和第一固定件，所述第一驱动件连接于所述第一转动件，所述第一转动件连接于所述第一运动件，所述第一运动件滑动连接于所述第一固定件，所述第一运动件连接于所述第一夹持件，其中，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件运动，所述第一转动件带动所述第一运动件在所述第一固定件上滑动，以使所述第一运动件带动所述第一夹持件靠近或者远离所述第二夹持件。
3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述夹持组件还包括第二运动件和第二固定件，所述第二运动件滑动连接于所述第二固定件，所述第二运动件连接于所述第二夹持件，所述第一转动件具有齿轮，所述齿轮啮合于所述第一运动件和所述第二运动件，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件转动，所述第一转动件带动所述第一运动件和所述第二运动件滑动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件互相靠近或远离。
4.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括第二驱动件、
5.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于，所述中间件设置有运动腔，所述第一固定件和所述第一运动件均设置于所述运动腔中，所述第一固定件固定连接于所述运动腔的腔壁，所述第二转动件设置有空腔，所述第一转动件的一端穿过所述空腔并位于所述运动腔中。
6.根据权利要求5所述的翻转装置，其特征在于，所述第二驱动组件还包括密封件，所述密封件设置于所述空腔中，所述密封件分隔于所述空腔和所述运动腔。
7.镀膜设备，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括两个纠偏装置，所述纠偏装置设置于所述加工腔中，两个所述纠偏装置分别位于所述第一夹持件的两侧，所述纠偏装置用于纠偏所述基材。
9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述纠偏装置包括第三驱动件和纠偏件，所述第三驱动件连接于所述纠偏件，所述第三驱动件用于驱动所述纠偏件靠近或者远离所述夹持组件。
10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述纠偏装置还包括波纹管，所述波纹管的两端分别连接于所述纠偏件和所述第三驱动件。
...【技术特征摘要】
1.翻转装置，用于翻转基材，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一驱动件和第一转动件，所述夹持组件还包括第一运动件和第一固定件，所述第一驱动件连接于所述第一转动件，所述第一转动件连接于所述第一运动件，所述第一运动件滑动连接于所述第一固定件，所述第一运动件连接于所述第一夹持件，其中，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件运动，所述第一转动件带动所述第一运动件在所述第一固定件上滑动，以使所述第一运动件带动所述第一夹持件靠近或者远离所述第二夹持件。
3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述夹持组件还包括第二运动件和第二固定件，所述第二运动件滑动连接于所述第二固定件，所述第二运动件连接于所述第二夹持件，所述第一转动件具有齿轮，所述齿轮啮合于所述第一运动件和所述第二运动件，所述第一驱动件能够驱动所述第一转动件转动，所述第一转动件带动所述第一运动件和所述第二运动件滑动，以使所述第一夹持件和所述第二夹持件互相靠近或远离。
4.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括第二驱动件、第二转动件和中间件，所述第二转动件的一端连接于所述第二驱动件，所述第二转动件的另一端固定连接于所述中间件，所述中间件连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁明，张晓军，
申请(专利权)人：深圳市矩阵多元科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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