板状部件的输送装置及板状部件的输送方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置（１０）具有：飘浮单元（２０），其沿玻璃基板（１１）的输送方向排列多个使玻璃基板（１１）飘浮的飘浮部件（２１）；输送单元（３０），其在玻璃基板（１１）利用飘浮单元（２０）从飘浮部件（２１）飘浮的状态下，保持玻璃基板（１１），同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板（１１）；以及处理部（４０），其在输送单元（３０）中的输送路径的中途，对玻璃基板（１１）进行曝光处理。在与处理部（４０）相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件（４３）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，其 用于输送例如显示器中使用的玻璃基板等板状部件。
技术介绍
当前，为了输送显示器中使用的玻璃基板等板状部件，已知一种 基板输送装置(例如参照专利文献l)。专利文献1中，利用形成有多个空气孔的飘浮模块，使玻璃基板 飘浮，利用吸附垫吸附飘浮的玻璃基板的沿基板输送方向的下游侧的 背面，从而进行保持， 一边牵引一边输送。专利文献l:专利公表2003—86917
技术实现思路
显示器中使用的玻璃基板，大多在输送路径的中途， 一边经过对 该玻璃基板进行规定处理的处理部， 一边进行输送。作为该处理部， 可以例举对玻璃基板的表面(向上的一面)的周缘部进行曝光处理的 工序等。一般地，显示器中使用的玻璃基板很薄，而在这种处理部中，要 求玻璃基板表面具有极高的平坦度。但是，前述专利文献l，由于多个飘浮模块沿玻璃基板的输送方 向平行设置且沿相对于输送方向正交的方向以规定间隔排列，所以换 言之，在各飘浮模块之间形成空隙。艮P，专利文献1在对玻璃基板的表面进行曝光处理的处理部中， 由于基板的背面存在不接触气流的部位，其结果玻璃基板的表面产生 波浪状起伏，存在不能进行高精度曝光的问题。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板状部件的输送装置，其具有：　飘浮单元，其沿前述板状部件的输送方向，平行地排列多个飘浮部件，该飘浮部件通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮；　输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保 持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件；以及　处理部，其在前述输送单元的输送路径的中途，对前述板状部件进行要求表面平坦度的处理，　其特征在于，　在前述飘浮单元的与前述处理部相对应的区域，设置前述板状部 件的表面平坦度提高单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷川央树，尾崎充佳，森诚树，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]