下载板状部件的输送装置及板状部件的输送方法的技术资料

文档序号:4215612

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本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法,其在输送路径的中途,可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有:飘浮单元(20),其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)...
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