一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台制造技术

一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，它涉及一种微动工作台。本发明专利技术的目的是为解决现有六自由度微动机构存在着平台的输出的自由度相互之间运动存在耦合和整个机构体积较大的问题。本发明专利技术的运动平台和底座分别由三个垂直平面组成，相当于正方体六个平面中三个具有公共顶点平面的组合体。即平台和底座都为立方体半表面，且相互扣在一起使整个机构呈正方体形状，六个压电陶瓷驱动支链并联于底座和运动平台之间，输出直线微位移运动，本发明专利技术具有六个自由度，由于采用正交布置，所以能实现运动平台自由度之间的解耦，运动精度高。另外六个压电陶瓷驱动支链处于正方体之中，所以结构紧凑，占用空间小，适用于对微动台精度、体积有严格要求的应用场合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种六自由度微动工作台。技术背景微纳米技术的快速发展引发了新一轮技术革命，微纳级的微动平台在纳 米器件和结构的制作、半导体光刻、微机械、超精密加工、生物细胞操纵、 微装配、光纤对接等领域得到了广泛的应用。高精度的六自由度微动平台由 于可以实现空间六个自由度的超精密定位，因此具有大量的实际应用场合。 目前虽然提出了一些六自由度微动机构，但是存在着平台输出的自由度相互 之间存在运动耦合或者整个机构体积较大等缺点。例如三支链型六自由度微 动机构(或机器人)、单层结构八杆微动工作台等由于其机构的固有特性存在 运动耦合的缺点。六自由度并联解耦微动机器人虽能实现运动解耦，但是其 体积较大，不能应用于安装空间小的场合。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决现有六自由度微动机构存在着平台输出的自由 度相互之间存在运动耦合或整个机构体积较大的问题，提供一种立方体形并 联解耦六自由度微动工作台。本专利技术由底座、运动平台和六个压电陶瓷驱动支链组成，底座由第一平板1、第二平板8和第三平板16组成，第一平板1 的Q端与第二平板8的R端连接为一体，第三平板16的P端与第一平板1 的N端连接为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，它由底座、运动平台和六个压电陶瓷驱动支链组成，其特征在于底座由第一平板（１）、第二平板（８）和第三平板（１６）组成，第一平板（１）的Ｑ端与第二平板（８）的Ｒ端连接为一体，第三平板（１６）的Ｐ端与第一平板（１）的Ｎ端连接为一体，第三平板（１６）的Ｔ端与第二平板（８）的Ｓ端连接为一体，第一平板（１）与第二平板（８）相互垂直设置，第三平板（１６）分别与第一平板（１）和第二平板（８）相互垂直设置；运动平台由第四平板（６）、第五平板（１３）和第六平板（２０）组成，第四平板（６）的Ｇ端与第五平板（１３）的Ｈ端连接为一体，第六平板（２０）的Ｌ端与第四平板（６）的Ｍ端连...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵强，岳永恒，关强，
申请(专利权)人：东北林业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]