【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及直拉单晶硅，尤其涉及一种直拉单晶硅的拉晶工艺。
技术介绍
1、n型topcon电池已经成为太阳能电池的主流产品之一，高品质n型单晶硅市场需求急剧增加；而氧是单晶硅中的主要非金属杂质之一，对太阳能电池转换效率有着重要的影响；尤其是n型topcon电池特殊的制作工艺，对n型单晶硅中的氧含量要求更为苛刻。高氧含量n型单晶片在n型topcon电池制作工艺下，易产生同心圆不良，严重影响电池的转换效率。在现有拉晶工艺下，晶棒头部氧含量较高，为了满足n型topcon电池客户端的需求，只能增加单晶硅棒头部反切长度，从而增加了单晶硅的生产成本，因此有效的降氧工艺可以减少晶棒的头部氧反切长度，大大的降低单晶硅的生产成本。
2、低炉压拉晶技术是行业内公认的降氧效果好、投入成本低的拉晶方法，此技术还处于一个探索阶段，各个企业所采用低压拉晶方法均不同。
3、在公开号为cn117535783a的中国专利中公开了一种降低直拉单晶氧含量的系统及工艺，其描述了一种低炉压的拉晶工艺，即整个工序中(熔料、调温、熔接、引晶、放肩、转肩、等...
【技术保护点】
1.一种直拉单晶硅的拉晶工艺，包括依次进行的熔料工序-调温工序-熔接工序-引晶工序-放肩工序-转肩工序-等径前期工序-等径中期工序-等径后期工序-收尾工序，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述拉晶工艺各阶段中，后一阶段的炉压≤前一阶段的炉压，后一阶段的氩气流量≤前一阶段的氩气流量。
3.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述等径中期工序中，不同长度的晶棒的埚转、炉压和氩气流量均不变。
4.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述等径后期工序的埚转＝所述等径前期工序的埚转，或所述等径后期工序的...
【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶硅的拉晶工艺，包括依次进行的熔料工序-调温工序-熔接工序-引晶工序-放肩工序-转肩工序-等径前期工序-等径中期工序-等径后期工序-收尾工序，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述拉晶工艺各阶段中，后一阶段的炉压≤前一阶段的炉压，后一阶段的氩气流量≤前一阶段的氩气流量。
3.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述等径中期工序中，不同长度的晶棒的埚转、炉压和氩气流量均不变。
4.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述等径后期工序的埚转＝所述等径前期工序的埚转，或所述等径后期工序的埚转≤等径前期工序1～2rpm。
5.根据权利要求1所述的拉晶工艺，其特征在于，所述熔料工序的炉压为11～13torr，氩气流量为130～150slmp，所述调温工序的炉压为11～13torr，氩气流量为130～150slmp。
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：辛瞳，王新强，万军军，高翔，云飞，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：发明
国别省市：
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