【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直拉单晶硅生产，具体的说是一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚。
技术介绍
1、石墨坩埚为直拉单晶硅用单晶炉的主要部件，在单晶硅棒的拉制过程中，装有硅原料的石英坩埚加热后软化，石墨坩埚对其具有支撑作用，使软化的石英坩埚在拉晶过程中维持稳定状态，保证单晶正常生长。
2、常规的石墨坩埚为三瓣式结构，即石墨坩埚由三个坩埚块拼接形成并包裹石英坩埚的外壁，三瓣式结构的石墨坩埚能够释放石英坩埚软化膨胀引起的应力。但是，随着重掺低阻产品的需求量增加，且低阻产品拉制过程中掺杂更多的杂质以及设定更高的工艺炉压，例如24吋热场标准装料140kg，相比于20吋热场装料70kg，其相同目标电阻率、不考虑挥发的情况下掺杂量至少提升两倍，即拉制重掺单晶硅的单晶炉内的杂质氛围更加恶劣；同时，石墨坩埚是离加热器最近的部件使其受热温度较大。单晶炉内的杂质氛围恶劣以及石墨坩埚受热温度较大，造成了石墨坩埚冷却后其边缘发生崩边和起皮现象。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中石墨坩埚冷却后易出现崩边和起皮...
【技术保护点】
1.一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，包括埚体(1)，其特征在于：埚体(1)的顶端同轴设置有释放环(2)，释放环(2)的内侧壁与埚体(1)的内侧壁平齐使两者形成能够容纳石英坩埚(5)的容纳空间，释放环(2)的侧壁上开设有贯穿其两个端面的伸缩缝(3)。
2.如权利要求1所述的一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，其特征在于：所述释放环(2)与埚体(1)接触的端面具有与其同轴的环形凸起(203)，埚体(1)的顶端开设有与其同轴且能够供环形凸起(203)插入的环形槽(101)，环形凸起(203)的侧壁与环形槽(101)的侧壁之间具有间隙(4)。
<...【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，包括埚体(1)，其特征在于：埚体(1)的顶端同轴设置有释放环(2)，释放环(2)的内侧壁与埚体(1)的内侧壁平齐使两者形成能够容纳石英坩埚(5)的容纳空间，释放环(2)的侧壁上开设有贯穿其两个端面的伸缩缝(3)。
2.如权利要求1所述的一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，其特征在于：所述释放环(2)与埚体(1)接触的端面具有与其同轴的环形凸起(203)，埚体(1)的顶端开设有与其同轴且能够供环形凸起(203)插入的环形槽(101)，环形凸起(203)的侧壁与环形槽(101)的侧壁之间具有间隙(4)。
3.如权利要求1所述的一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，其特征在于：所述释放环(2)的高度为50-60mm。
4.如权利要求1所述的一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚，其特征在于：所述释放环(2)远离埚体(1)的端面为弧形面(201)。
...【专利技术属性】
技术研发人员：马武祥，令狐铁兵，范吉祥，马三宝，张奇，方丽霞，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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