【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片清洗，具体的说是一种硅片清洗用的吊篮转运装置。
技术介绍
1、硅片在进行加工时，需要进行多次清洗，去除表面的残留物和有机杂质，以便于进行加工。现有的清洗方式通常是将硅片放到吊篮中，将吊篮依次放到碱性清洗槽和纯水清洗槽内，通过超声波进行清洗。
2、为了提高吊篮的抓取转运效率，通常会采用平移升降设备将吊篮输送至相应的清洗槽中，为了便于平移升降设备与吊篮的连接，中国专利文献“cn217655850u”公开了一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，该方案将液压气缸在矩形壳体内设置两组伸缩组件与挂钩连接，伸缩组件包括两个相对的伸缩气缸，伸缩气缸的输出端连接有立板，立板与挂钩相连接，两个立板之间共同连接有伸缩弹簧，通过伸缩气缸输出端的伸缩，实现两个挂钩之间距离的改变，进而使得挂钩伸入挂篮的吊环中。
3、但是，该方案仅采用两个挂钩，吊取挂篮时不稳定，而且，由于该方案每个挂钩需要配合一个伸缩气缸，为了保证挂篮的稳定性而增加挂钩时，每增加一个挂钩就需要额外增加一个伸缩气缸，使得控制难度加大，并且成本增高。
【技术保护点】
1.一种硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：包括承载板(13)、若干与承载板(13)转动连接的用于吊取吊篮(1)的吊钩(7)以及用于驱动吊钩(7)转动的回转驱动机构；
2.如权利要求1所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：所述吊篮转运装置包括丝杠(8)，丝杠(8)上配合设置有滑块(9)，滑块(9)固定连接有第一气缸(10)，并且第一气缸(10)的轴线与丝杠(8)的轴线相互垂直，第一气缸(10)的活塞杆与所述承载板(13)固定连接。
3.如权利要求2所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：所述活塞杆与所述承载板(13)之间设置有连接板...
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：包括承载板(13)、若干与承载板(13)转动连接的用于吊取吊篮(1)的吊钩(7)以及用于驱动吊钩(7)转动的回转驱动机构；
2.如权利要求1所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：所述吊篮转运装置包括丝杠(8)，丝杠(8)上配合设置有滑块(9)，滑块(9)固定连接有第一气缸(10)，并且第一气缸(10)的轴线与丝杠(8)的轴线相互垂直，第一气缸(10)的活塞杆与所述承载板(13)固定连接。
3.如权利要求2所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：所述活塞杆与所述承载板(13)之间设置有连接板(11)，活塞杆与连接板(11)固定连接，连接板(11)与所述承载板(13)之间通过多个支柱(12)固定连接以形成用于容纳所述回转驱动器(14)的容纳空间。
4.如权利要求2所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其特征在于：所述承载板(13)上开设有滑道(21)，所述吊钩(7)能够在滑道(21)内摆动。
5.如权利要求1所述的硅片清洗用的吊篮转运装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：王海君，王继国，胡晓亮，廖宇冉，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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