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一种硅片清洗用的吊篮转运装置，本技术的承载板通过转动连接组件与所述吊钩转动连接，转动连接组件包括两个相互平行并且与承载板固定连接的安装板，两个安装板之间固定连接有支撑轴，吊钩上开设有通孔，支撑轴穿过通孔；回转驱动机构通过若干传动机构与吊钩对...
该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。

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