【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶硅太阳能电池生产制造，尤其涉及一种供气装置及扩散设备。
技术介绍
1、在太阳能电池片生产工艺过程中，涉及一步扩散工序，即：在p型硅的表面上渗透一层很薄的磷层，使该表面变成n型，形成pn结。相关技术中，扩散设备包括磷源源瓶和工艺腔室。载气(载气通常为氮气)通入磷源源瓶内，载气携带磷源源瓶内的磷源进入工艺腔室内，使之反应生产磷沉淀在硅片的表层，磷在高温下渗透入硅片内部从而形成n区。
2、然而，当扩散设备操作不当时，容易造成磷源源瓶与工艺腔室内产生压强差，磷源源瓶内的三氯氧磷容易被倒吸入通气管路内，故而容易造成通气管路上设置的流量监控件被腐蚀，因此容易影响流量监控件的检测准确性，致使扩散设备的可靠性较差。
技术实现思路
1、本技术公开一种供气装置及扩散设备，以解决扩散设备的可靠性较差的问题。
2、为了解决上述问题，本技术采用下述技术方案：
3、一种供气装置，所述供气装置应用于扩散设备，所述供气装置与扩散设备的工艺腔室相连通，所述供气装置包括气源管路...
【技术保护点】
1.一种供气装置，所述供气装置应用于扩散设备，所述供气装置与所述扩散设备的工艺腔室(200)相连通，其特征在于，所述供气装置包括气源管路(110)、连通管路(120)、输出管路(130)、安全瓶(140)、磷源源瓶(150)和流量监控件(160)；
2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述安全瓶(140)内设置有第一液位检测件(171)，所述第一液位检测件(171)用于检测所述安全瓶(140)内所储存的液体的液位高度。
3.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述供气装置还包括第一报警器，所述第一报警器与所述第一液位检测件(17
...【技术特征摘要】
1.一种供气装置，所述供气装置应用于扩散设备，所述供气装置与所述扩散设备的工艺腔室(200)相连通，其特征在于，所述供气装置包括气源管路(110)、连通管路(120)、输出管路(130)、安全瓶(140)、磷源源瓶(150)和流量监控件(160)；
2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述安全瓶(140)内设置有第一液位检测件(171)，所述第一液位检测件(171)用于检测所述安全瓶(140)内所储存的液体的液位高度。
3.根据权利要求2所述的供气装置，其特征在于，所述供气装置还包括第一报警器，所述第一报警器与所述第一液位检测件(171)电连接。
4.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述安全瓶(140)内设置有第一分隔网(181)，所述第一分隔网(181)将所述安全瓶(140)的内腔分隔为上腔室(141)和下腔室(142)；所述安全瓶(140)内所存储的液体位于所述下腔室(142)，所述连通管路(120)的第一端经由所述上腔室(141)和所述第一分隔网(181)后插入所述下腔室(142)，所述气源管路(110)的一端插入所述上腔室(141)。
5.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述气源管路(110)包括直管段(111)和弯折段(112)，所述弯折段(112)的一端与所述安全瓶(140)相连通，所述弯折段(112)的另一端与所述直管段(111)的一端相连接，所述流量监控...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟敏娟，韩泽平，江巧巧，黄猛，潘少聪，
申请(专利权)人：淮安捷泰新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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