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本技术公开一种供气装置及扩散设备，所述供气装置与所述扩散设备的工艺腔室相连通，所述供气装置包括气源管路、连通管路、输出管路、安全瓶、磷源源瓶和流量监控件；所述气源管路的一端与所述安全瓶相连通，所述流量监控件设置于所述气源管路上；所述连通管路...
该专利属于淮安捷泰新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过淮安捷泰新能源科技有限公司授权不得商用。

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