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一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚,包括埚体,埚体的顶端同轴设置有释放环,释放环的内侧壁与埚体的内侧壁平齐使两者形成能够容纳石英坩埚的容纳空间,释放环的侧壁上开设有贯穿其两个端面的伸缩缝,释放环的环形凸起与埚体的环形槽设计内配合,本技术...该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。
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一种用于大尺寸重掺单晶硅拉制的石墨坩埚,包括埚体,埚体的顶端同轴设置有释放环,释放环的内侧壁与埚体的内侧壁平齐使两者形成能够容纳石英坩埚的容纳空间,释放环的侧壁上开设有贯穿其两个端面的伸缩缝,释放环的环形凸起与埚体的环形槽设计内配合,本技术...