【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子特气存储，尤其涉及一种气瓶抽真空装置。
技术介绍
1、电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。电子特气的存储一般是采用气瓶存储。为了保证电子特气在气瓶内腔的纯度和可靠性，因此需要先对气瓶内腔进行抽真空，以减少气瓶内腔的空气含量与水分含量。然而目前对于气瓶抽真空的装置并不具有防倒流的措施，若操作人员操作顺序不当或者真空泵突然断电，则容易出现真空泵内的油液顺着管路倒流进入气瓶中。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：提供一种气瓶抽真空装置，能够避免真空泵内的油液进入到气瓶内腔。
2、为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种气瓶抽真空装置，包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。
3、进一步地，所述吸气...
【技术保护点】
1.一种气瓶抽真空装置，其特征在于：包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。
2.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路上设置有第一阀门。
3.根据权利要求2所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路包括主气管和多根与主气管连通的分支气管，所述主气管的出气端与油液截留箱的进气端口连通，每个所述分支气管上设置有第二阀门，所述第一阀门设置在主气管上。
4.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种气瓶抽真空装置，其特征在于：包括真空泵机组、油液截留箱和吸气管路；所述油液截留箱上设置有出气端口和进气端口，所述出气端口管路连接真空泵机组的进气端，所述进气端口位于油液截留箱的顶部，所述进气端口与吸气管路的出气端连接。
2.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路上设置有第一阀门。
3.根据权利要求2所述气瓶抽真空装置，其特征在于：所述吸气管路包括主气管和多根与主气管连通的分支气管，所述主气管的出气端与油液截留箱的进气端口连通，每个所述分支气管上设置有第二阀门，所述第一阀门设置在主气管上。
4.根据权利要求1所述气瓶抽真空装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜文东，唐忠福，李智，
申请(专利权)人：福建福豆新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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