【技术实现步骤摘要】
本技术涉及毒气泄露防护,尤其涉及一种毒气泄露防护装置。
技术介绍
1、电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。根据不同的生产工艺,部分电子特气生产中需要使用甲酸作为催化剂或者反应物,又或者使用一氧化碳作为还原剂或者反应物。然而甲酸气体和一氧化碳气体均为有毒气体,若在生产车间内发生泄露,会对车间内的工作人员造成生命威胁。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是:提供一种毒气泄露防护装置,能够吸收泄露的甲酸蒸气和一氧化碳气体。
2、为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案为:一种毒气泄露防护装置,包括隔离室、活性炭吸附箱和排放组件;所述隔离室的内腔中设置有毒气检测器;所述活性炭吸附箱具有进气口和出气口,所述活性炭吸附箱的进气口管路连通隔离室的内腔;
3、所述排放组件包括风机和高空排放塔,所述风机的进气端管路连接活性炭吸附箱的出气口,所述风机的出气端管路连通高空排放塔的内腔,
...【技术保护点】
1.一种毒气泄露防护装置,其特征在于:包括隔离室、活性炭吸附箱和排放组件;所述隔离室的内腔中设置有毒气检测器;所述活性炭吸附箱具有进气口和出气口,所述活性炭吸附箱的进气口管路连通隔离室的内腔;
2.根据权利要求1所述毒气泄露防护装置,其特征在于:所述活性炭吸附箱的进气口与隔离室的内腔的连接管路上设置有喷淋水塔,所述喷淋水塔的进气端位于喷淋水塔的内腔底部,所述喷淋水塔的出气端位于喷淋水塔的内腔顶部,所述喷淋水塔的内腔中设置有喷淋水管。
3.根据权利要求2所述毒气泄露防护装置,其特征在于:所述活性炭吸附箱的进气口与隔离室的内腔的连接管路上至少设置有
...【技术特征摘要】
1.一种毒气泄露防护装置,其特征在于:包括隔离室、活性炭吸附箱和排放组件;所述隔离室的内腔中设置有毒气检测器;所述活性炭吸附箱具有进气口和出气口,所述活性炭吸附箱的进气口管路连通隔离室的内腔;
2.根据权利要求1所述毒气泄露防护装置,其特征在于:所述活性炭吸附箱的进气口与隔离室的内腔的连接管路上设置有喷淋水塔,所述喷淋水塔的进气端位于喷淋水塔的内腔底部,所述喷淋水塔的出气端位于喷淋水塔的内腔顶部,所述喷淋水塔的内腔中设置有喷淋水管。
3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:马建修,杜文东,唐忠福,
申请(专利权)人:福建福豆新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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