【技术实现步骤摘要】
本技术属于精馏设备领域，尤其是涉及一种精馏塔清洁系统。
技术介绍
1、电子行业气体，包含含氟蚀刻气体主要用于干法蚀刻，干法蚀刻有效克服了湿法蚀刻的致命缺陷，已成为亚微米尺寸下蚀刻器件的最主要方法，广泛应用于半导体或lcd前段制程。
2、含氟蚀刻剂气体的品种主要包括四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、六氟化硫、八氟环丁烷等，由于产品性质的差异，纯化工艺参数也存在差别，在生产与实践中发现，共用纯化精馏塔装置仍然遇到以下挑战：
3、1.氟碳气体会有很多氟碳高分子残留物，会积攒在塔内构件中，通过真空-置换很难清洗干净；
4、2.电子级氟碳气体低温精馏理论级数很高，所以通过氮气置换在死角处依然会残存痕量杂质气体；
5、3.实践发现抽真空-置换效果很不显著，一般8-10h，置换后的水含量降低不明显，塔的清洗切换不足，效率不高。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术旨在提出一种精馏塔清洁系统，以适用于不同含氟蚀刻剂气体的净化，确保精馏塔的清洗清洁，降低生产成本。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、一种精馏塔清洁系统，包括精馏塔、清洗液罐、清洁气瓶、气体回收罐及控制器，
4、所述精馏塔自上而下分为多个精馏段，每个精馏段下端侧壁连通有进气支管，上端侧壁连通有出气支管，所述进气支管通过进气总管与清洗气瓶连通，所述出气支管通过出气总管与气体回收罐连通，所述出气总管还连通有抽气泵，
5、所述清洗液
6、所述控制器与抽气泵、清洗泵电性连接。
7、进一步地，所述清洗液罐内装有异丙醇。
8、进一步地，所述清洁气瓶内装有氮气。
9、进一步地，所述进气支管上设有进气阀门，所述出气支管上设有出气阀门，所述控制器与进气阀门、出气阀门电性连接。
10、进一步地，所述气体回收罐连通有出气总阀，所述抽气泵连通有抽气阀门，所述控制器与出气总阀、抽气阀门电性连接。
11、进一步地，所述进气总管上设有进气总阀及限压阀，所述控制器与进气总阀电性连接。
12、进一步地，所述进液管上设有清洗阀门，所述控制器与清洗阀门电性连接。
13、相对于现有技术，本技术所述的精馏塔清洁系统具有以下优势：
14、本技术所述的精馏塔清洁系统采用分段的吹气置换、真空吸残留尾气的方式，逐段清洗，每个死角不同的位置吹扫以确保置换效果，并且创新性的采用了真空与氮气吹扫周期性的操作方式，清洗效率明显提高，同时由于氟碳化合物密度较大，将清洗溶剂采用从塔顶到塔底循环清洗，节省溶剂。
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1.一种精馏塔清洁系统，其特征在于：包括精馏塔、清洗液罐、清洁气瓶、气体回收罐及控制器，
2.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述清洗液罐内装有异丙醇。
3.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述清洁气瓶内装有氮气。
4.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述进气支管上设有进气阀门，所述出气支管上设有出气阀门，所述控制器与进气阀门、出气阀门电性连接。
5.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述气体回收罐连通有出气总阀，所述抽气泵连通有抽气阀门，所述控制器与出气总阀、抽气阀门电性连接。
6.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述进气总管上设有进气总阀及限压阀，所述控制器与进气总阀电性连接。
7.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述进液管上设有清洗阀门，所述控制器与清洗阀门电性连接。
【技术特征摘要】
1.一种精馏塔清洁系统，其特征在于：包括精馏塔、清洗液罐、清洁气瓶、气体回收罐及控制器，
2.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述清洗液罐内装有异丙醇。
3.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述清洁气瓶内装有氮气。
4.根据权利要求1所述的精馏塔清洁系统，其特征在于：所述进气支管上设有进气阀门，所述出气支管上设有出气阀门，所述控制器与进气阀门、出气阀门电...
【专利技术属性】
技术研发人员：马建修，杜文东，刘羽，
申请(专利权)人：福建福豆新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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