一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器及其设备制造技术

本发明专利技术提出一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器及其设备，涉及电子级溴化氢生产技术领域。上述生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器包括壳体、多根喷嘴管束，以及盘管；喷嘴管束的上端设置有催化剂，通入氢气和溴气的体积流量比为R的喷嘴管束包括相互套设的内管和外管，内管和外管之间通氢气，内管通溴气；其中，1<R<1.5。生产高纯电子级溴化氢用设备包括依次连接的生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器、两级精馏塔、深度脱水装置、过滤装置和填充装置。本发明专利技术的生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器及其设备，氢气走外管，溴气走内管，并控制氢气与溴气的体积流量比R，1<R<1.5，有效避免了溴素燃烧不完全，火焰容易熄灭的问题。火焰容易熄灭的问题。火焰容易熄灭的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器及其设备


[0001]本专利技术涉及电子级溴化氢生产
，且特别涉及一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器及其设备。

技术介绍

[0002]高纯电子级溴化氢，被广泛应用于超大规模集成电路、平板显示、光伏等高精尖领域制造工艺的刻蚀制程。高纯溴化氢在等离子体作用下可以产生溴自由基，能高选择性刻蚀多晶硅。集成电路中的多晶硅刻蚀阶段是最精密的制造过程，是实现关键尺寸(CD)线宽的关键，因此，溴化氢是刻蚀制程十分关键的电子气体，是衡量国家化工电子新材料技术能力的重要标志。溴化氢的pKa为
‑
9，与同族的氯化氢相比，具有更强的电离特性、极易吸湿性与对设备的强腐蚀性，因此，高纯电子级溴化氢的分离纯化面临很多技术挑战，比如痕量水的脱除、溴化氢水合物的解离、痕量金属杂质的脱除等。国内也纷纷开展高纯电子级溴化氢分离纯化的研究，以解决长期受制于人的困境。
[0003]我国虽然是全球第三大溴素生产国，但是仍然需要进口大量溴素。目前，国内溴化氢合成其实是源于早期的以色列氢溴酸合成工艺，也是目前化工行业公开的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，其包括壳体、竖直阵列设置在所述壳体内的多根喷嘴管束，以及设置在所述喷嘴管束上方其通空气的盘管；所述喷嘴管束的上端设置有催化剂，通入氢气和溴气的体积流量比为R的所述喷嘴管束包括相互套设的内管和外管，所述内管和所述外管之间通所述氢气，所述内管通所述溴气；其中，1<R<1.5。2.根据权利要求1所述的一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，所述外管的外侧上设置有斜向上延伸的外翅片，所述外翅片的上表面上设置有石墨层。3.根据权利要求1所述的一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，所述内管的上端向外凹陷，使得所述喷嘴管束的上端形成收缩段和扩张段。4.根据权利要求1所述的一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，所述外管的所述扩张段直径变小，且所述外管的所述扩张段纵截面为直线。5.根据权利要求1所述的一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，所述内管的内侧设置有螺旋状花纹。6.根据权利要求1所述的一种生产高纯电子级溴化氢用燃烧反应器，其特征在于，所述内管上端的内侧设置有内翅片，所述内翅片斜向上延伸。...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建修，靖宇，杜文东，
申请(专利权)人：福建福豆新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：