【技术实现步骤摘要】
本申请属于生产自动化调度,尤其涉及一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备。
技术介绍
1、半导体在扩散区域内的加工需要经历不同的工序,并面临复杂的约束条件。如何确定高质量的生产调度计划是当前亟需解决的问题。
2、当前半导体生产的调度方法虽然在一定情况下可行,但在处理大规模任务时,计算复杂度较高,存在计算时间过长或无法找到最佳解的问题,降低了半导体生产的调度效率。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种半导体生产的调度方法、装置及终端设备,可以在处理大规模任务时,解决计算时间过长或无法找到最佳解的问题,提高半导体生产的调度效率。
2、第一方面,本申请实施例提供了一种半导体生产的调度方法,包括:
3、获取待生产半导体的生产数据;
4、对基于生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算,得到满足迭代终止条件的候选调度种群,候选调度种群包括多个与待生产半导体有关的候选调度计划,其中,每个调度计划均由线性规划模型进行可行性评估得到;
5、
...【技术保护点】
1.一种半导体生产的调度方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,
3.如权利要求2所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对基于所述生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算,得到满足迭代终止条件的候选调度种群,包括:
4.如权利要求3所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对所述第一调度种群和所述第二调度种群进行迭代计算,得到满足迭代终止条件的所述候选调度种群,包括:
5.如权利要求4所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对所述第一调度种群以及根据所述选择结果确定
...【技术特征摘要】
1.一种半导体生产的调度方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,
3.如权利要求2所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对基于所述生产数据随机得到的多个调度计划进行迭代计算,得到满足迭代终止条件的候选调度种群,包括:
4.如权利要求3所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对所述第一调度种群和所述第二调度种群进行迭代计算,得到满足迭代终止条件的所述候选调度种群,包括:
5.如权利要求4所述的半导体生产的调度方法,其特征在于,所述对所述第一调度种群以及根据所述选择结果确定的第三调度种群中的调度计划进行变异操...
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