提供乙炔的工艺和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种提供乙炔到使用点的系统和工艺，所述乙炔尤其是高纯度水平的（例如，含有百万分之１００（“ｐｐｍ”），或者１０ｐｐｍ，或者１ｐｐｍ，或者十亿分之１００（“ｐｐｂ”），或者１０ｐｐｂ，或者１ｐｐｂ或者更少的溶剂），用于例如半导体生产工艺。一方面，提供一种含有１００ｐｐｍ或更少溶剂的高纯度乙炔的到使用点的工艺过程包括：提供一种含有乙炔和溶剂的温度从２０℃到－５０℃的乙炔原料流；在温度为－５０℃到３０℃下，引入乙炔原料流到纯化器中以除去其中含有的至少一部分溶剂，从而得到高纯度的乙炔。

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求以2008年9月16日提交的美国临时申请号为61/097,352的申请的权益。
本专利技术描述的是一种提供乙炔的系统(或装置)和工艺，尤其是高纯度水平的(例如，含有百万分之100(“ppm”)，或者10ppm，或者1ppm，或者十亿分之100(“ppb”)，或者10ppb，或者1ppb或者更少的溶剂)，可用于使用。更具体地说，本专利技术描述的是一种传输系统(或装置)，其提供一种可用于半导体生产的连续的几乎不含溶剂(例如，含有100ppm或者以下的溶剂)的乙炔流。
技术介绍
半导体制造商当前在某些工艺中使用乙炔(C2H2)，例如，硬(富含碳)掩模涂层工艺。通常乙炔被装入可运送给厂商的钢瓶中，然后被移出和重新填充。然而，乙炔在操作和运输过程中会产生很多问题。乙炔是热力学最不稳定的普通气体，高度易燃，有非常宽的爆炸范围(在空气中的含量从2％到80％)，在压力和特定条件下会爆炸分解。由此，在特定的条件下，纯乙炔在6psig的压力下会剧烈的分解。为了避免上述分解和易燃的问题，乙炔钢瓶设计成具有被可溶解乙炔的丙酮或者另外适当的溶剂饱和的多孔材料。多孔材料和溶剂的组合使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将含有１００ｐｐｍ或更少溶剂的高纯度乙炔提供到使用点的工艺，包括：提供含有乙炔和溶剂的温度范围为２０℃到－５０℃的乙炔原料流；在－５０℃到３０℃的温度范围将乙炔原料流引导到纯化器，以除去至少一部分其中含有的溶剂，并提供高纯度的乙炔。

【技术特征摘要】
US 2008-9-16 61/097,352;US 2009-9-4 12/554,0521.一种将含有100ppm或更少溶剂的高纯度乙炔提供到使用点的工艺，包括：提供含有乙炔和溶剂的温度范围为20℃到-50℃的乙炔原料流；在-50℃到30℃的温度范围将乙炔原料流引导到纯化器，以除去至少一部分其中含有的溶剂，并提供高纯度的乙炔。2.权利要求1的工艺，还包括再生所述纯化器以除去至少一部分溶剂。3.权利要求1的工艺，其中所述溶剂为选自由丙酮、二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮和它们的组合所构成组的至少一种。4.权利要求1的工艺，其中所述引导步骤在室温下进行。5.一种将含有100ppm或更少的含二甲基甲酰胺溶剂的高纯度乙炔提供到使用点的工艺，包括：降低含有乙炔...

【专利技术属性】
技术研发人员：TJ梅库特，SN凯特卡，BJA英曼，J欧文，EJ小卡瓦基，NA唐尼，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]