【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、干式处理工具，例如沉积工具和蚀刻工具，使用仔细计量的处理气体组合以将材料沉积至衬底表面上或从衬底表面去除材料。某些工具可包括多个处理站，其共享公共处理气体源。这样的配置可允许在一致的条件下并行处理多个衬底。
技术实现思路
1、提供本
技术实现思路
，以利用简化的形式来介绍概念的选择，其将在以下的具体实施方式中进一步描述。本
技术实现思路
不意图识别所要求保护的主题的关键特征或基本特征，也不意图用于限制所要求保护的主题的范围。此外，所要求保护的主题不限于解决本公开内容的任何部分中所提到的任何或所有缺点的实现方案。
2、公开了关于包括可调整流动阀的干式处理工具的示例。一示例提出一种用于干式处理工具的系统，其包括一个或更多处理室。两个或更多处理站被设置在所述一个或更多处理室内。所述系统还包括第一气体源。公共歧管经由至少第一质量流量控制器而耦合至所述第一气体源。所述公共歧管将所述第一气体源经由对应的流动路径而流体耦合至所述两个或更多处理站中的每一处理站。每一对应的流动路径包括可
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1.一种用于干式处理工具的系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中每一可调整流动阀是能调整的，以在所述对应的流动路径内具有最高阀流量系数。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述对应的流动路径中的一或多者各自包括被设置为与所述可调整流动阀并联的固定孔口。
4.根据权利要求1所述的系统，其中每一对应的流动路径经由挠性气体管线而耦合至所述公共歧管，其中每一流动路径包括一个或更多部件，所述一个或更多部件被配置为相对于相应的处理站的处理室是能移动的。
5.根据权利要求1所述的系统，其中每一流动路径还包括位于所述可调整流...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于干式处理工具的系统，其包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中每一可调整流动阀是能调整的，以在所述对应的流动路径内具有最高阀流量系数。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述对应的流动路径中的一或多者各自包括被设置为与所述可调整流动阀并联的固定孔口。
4.根据权利要求1所述的系统，其中每一对应的流动路径经由挠性气体管线而耦合至所述公共歧管，其中每一流动路径包括一个或更多部件，所述一个或更多部件被配置为相对于相应的处理站的处理室是能移动的。
5.根据权利要求1所述的系统，其中每一流动路径还包括位于所述可调整流动阀的上游的开/关流动阀。
6.根据权利要求5所述的系统，其中每一流动路径还包括位于所述开/关流动阀的上游的过滤器。
7.根据权利要求1所述的系统，其还包括第二气体源，所述第二气体源经由第二质量流量控制器而连接至所述公共歧管。
8.根据权利要求1所述的系统，其还包括：对于每一处理站，被设置于所述处理站的上游的所述流动路径内的混合器，每一处理站的所述混合器经由第二对应的流动路径而耦合至第二公共歧管，所述第二公共歧管耦合至第二气体源，所述第二气体源被配置成提供与所述第一气体源不同的气体成分。
9.根据权利要求8所述的系统，其中所述第二对应的流动路径包括与固定孔口或第二可调整流量阀中的一或多者串联的开/关流动阀。
10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一个或更多处理室包括多个处理室，其中所述两个或更多处理站中的每一处理站被设置在所述多个处理室的单独处理室内。
11.根据权利要求1所述的系统，其中所述两个或更多处理站中的至少两个被设置在所述一个或更多处理室的共享处理室内。
12.根据权利要求1所述的系统，其中所述干式处理工具包括化学气相沉积工具。
13.根据权利要求1所述的系统，其中所述干式处理工具包括原子层沉积工具。
14.根据权利要求1所述的系统，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔恩·加雷特·贾奇，尼克·拉伊·小林百格，丹尼尔·博特赖特，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：
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