薄膜移除设备及移除薄膜的方法技术

本发明专利技术提供一种薄膜移除设备及移除薄膜的方法，其中薄膜移除设备包括：研磨头、超声波震荡装置以及微粒移除装置。超声波震荡装置用来驱动研磨头，以去除位于基材上的薄膜。微粒移除装置用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种薄膜移除设备以及利用其来移除薄膜的方法，且特别是有关于一种薄膜太阳能电池制造过程中用来移除薄膜的设备以及利用其来移除薄膜的方法。
技术介绍
目前由于国际能源短缺，世界各国一直持续致力于研究各种可行的替代能源，而其中太阳能电池具有使用方便、无污染、无转动部分、无噪音、使用寿命长、普及化、可阻隔辐射热并且尺寸可与建筑物结合而随意变化等优点，而受到瞩目。典型的太阳能电池计有单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳电池、非晶硅太阳能电池、化合物太阳能电池以及染料敏化太阳能电池等。而目前由于原料短缺，因此主要的发展趋势则是以薄膜太阳能电池为主。薄膜太阳能电池基板是一种多层膜堆叠结构，薄膜沉积是薄膜太阳能电池制作工艺中的重要技术。薄膜太阳能电池的制作过程，首先是在单位面积的基板(例如金属、非金属、半导体材料)上沉积所需要的薄膜，再利用激光切割方式定义出太阳能电池单元(Cell)，然后再进行后续的封装工艺。然而工艺中受限成本考虑与机台的设计，必须采用大面积的薄膜沉积，基板外围区域通常会出现沉积不均匀的状况，会使位在薄膜太阳能电池基板边缘的太阳能电池单元效率大幅降低甚至失效，进而在后续封本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜移除设备，其特征在于，包括：　一研磨头；　一超声波震荡装置，用来驱动该研磨头，以移除位于一基材上的一薄膜；以及　一微粒移除装置，用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。

【技术特征摘要】
1、一种薄膜移除设备，其特征在于，包括一研磨头；一超声波震荡装置，用来驱动该研磨头，以移除位于一基材上的一薄膜；以及一微粒移除装置，用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。2、 根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该研磨头的材料 选自于金属、非金属以及上述组合所组成的一族群。3、 根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该薄膜沉积于该 基材之上。4、 根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该超声波震荡装 置包括一传动杆与该研磨头连接，借以驱动该研磨头进行一横向往复运动， 其中该传动杆与该往复运动的方向垂直，且该传动杆与该基材平行。5、 根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，该微粒移除装置 是一抽气装置，且该抽气装置包括一第一吸嘴，邻设于该研磨头；一轮刷，邻设于该第一吸嘴，用来清洁该表面。6、 根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，该微粒移除装置 包括一第一吸嘴；一第二吸嘴，其中该第二吸嘴与该第一吸嘴分别对称地邻设于该研磨头 的两侧，并且分别与该横向往复运动的方向平行；以及一第三吸嘴，...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄峻铭，简毓苍，简永杰，
申请(专利权)人：东捷科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]