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本发明提供一种薄膜移除设备及移除薄膜的方法，其中薄膜移除设备包括：研磨头、超声波震荡装置以及微粒移除装置。超声波震荡装置用来驱动研磨头，以去除位于基材上的薄膜。微粒移除装置用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。...
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