混酸系统及其方法技术方案

本发明专利技术属于半导体制程工艺技术领域，具体涉及一种混酸系统及其方法，包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到系统自动计算流量后，即可立即触发切换到加液阀对混酸桶加液，当混酸桶液位达到设定值即可立即触发或提前触发关阀动作，完成混酸。本发明专利技术混酸速度迅速、精度高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体制程工艺，具体涉及一种混酸系统及其方法。

技术介绍

1、在半导体湿法清洗领域，随着工艺的更新与发展，要求作用于晶圆表面的药水浓度比例稳定性越来越高。而如何快速精准混酸是业内一个很纠结的问题。在面对多种化学品之间复杂的混合及流量控制等问题,导致目前绝大多数设备不具备混酸功能，

2、现有技术中主要采用两种方式进行混酸：

3、一是通过人工手动配比混酸后，统一加入到药液桶内或是分批次加到药液桶内。该方案有以下缺陷：1、人工手动配比存在人为差异性，不同的操作员读数差异造成的浓度比例不确定性；2、人工手动配比存在危险性，因化学品之间的复杂的化学反应会造成安全隐患；

4、二是通过定量泵的形式，通过其特殊的机构，每次打入固定体积药水机型混合。该方案有以下缺陷：1、定量泵配置复杂，每种药液配置一个定量加液管路，成本较高；2、定量泵无法兼顾精度与速度，一般高精度定量泵，吞吐量较低，混酸时间过长。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种混酸系统及其方法，以解决现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种混酸系统，其特征在于：包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到系统自动计算流量后，即可立即触发切换到加液阀对混酸桶加液，当混酸桶液位达到设定值即可立即触发或提前触发关阀动作，完成混酸。

2.根据权利要求1所述的混酸系统，其特征在于：所述闭环反馈控制瞬时流量系统包括PLC控制器、电动针阀和流量计，所述电动针阀通过计算预设值，提前将电动针阀调整到对应的开度，所述PLC控制器接受所述流量计的反馈控制所述电动针阀的开度。</p>

3.根据...

【技术特征摘要】

1.一种混酸系统，其特征在于：包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到系统自动计算流量后，即可立即触发切换到加液阀对混酸桶加液，当混酸桶液位达到设定值即可立即触发或提前触发关阀动作，完成混酸。

2.根据权利要求1所述的混酸系统，其特征在于：所述闭环反馈控制瞬时流量系统包括plc控制器、电动针阀和流量计，所述电动针阀通过计算预设值，提前将电动针阀调整到对应的开度，所述plc控制器接受所述流量计...

【专利技术属性】
技术研发人员：包玉曼，王淑梅，刘翠，蒋嘉，
申请(专利权)人：浙江洁芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：