多点式基板位置检测系统及其方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，特别是一种多点式基板位置检测系统，包括若干个检测传感器

【技术实现步骤摘要】
多点式基板位置检测系统及其方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别是一种多点式基板位置检测系统及其方法
。

技术介绍

[0002]在半导体湿制程中主流设备类型为单基板式旋转喷淋类设备
。
此类设备与传统槽式设备相比，单基板工艺处理效果优良
。
且该类型设备常常配置绕固定转轴旋转的基板载具，载具之上基板的固定方式主要为真空吸附式
、
外置动力源主动夹持式
、
及基于伯努利效应接触式等
。
同时设备中需要洁净型机器人将基板放置于基板载具之上，该动作结束后需对机器人放置“结果”进行检测，以避免机器人放置基板中心与基板载具绕固定轴旋转中心产生偏移，导致基板载具旋转时基板做离心运动而破损
。
[0003]现有技术检测位置受限于水平方向安置，遇安装水平方向空间受限问题时无法使用
。

技术实现思路

[0004]本专利技术为了有效的解决上述
技术介绍
中的问题，提出了一种多点式基板位置检测系统及其方法<br/>。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多点式基板位置检测系统，其特征在于：包括若干个检测传感器
、
控制器
、
通讯模块和控制模块，所述若干个检测传感器分别对基板载具平面以及基板平面进行测量并将模拟量光学信号传功给控制器，所述控制器将接收到的模拟量光学信号对应转换成可输出的数字量信号，所述通讯模块将所述数字信号传送给所述控制模块，控制模块控制基板载具驱动源是否做绕固定轴旋转运动
。2.
根据权利要求1所述的多点式基板位置检测系统，其特征在于，所述检测传感器至少两组分别检测基板两侧，至少两组检测基板载具两侧
。3.
一种多点式基板位置检测方法，其特征在于，包括权利要求1或2的多点式基板位置检测系统，包括以下步骤：步骤1：在基板载具平面任选至少两点例如
A
与
D
，然后使用传感器进行预检并且进...

【专利技术属性】
技术研发人员：王淑梅，刘翠，蒋嘉，
申请(专利权)人：浙江洁芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：