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本发明涉及半导体制造技术领域，特别是一种多点式基板位置检测系统，包括若干个检测传感器
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该专利属于浙江洁芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江洁芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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