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本发明属于半导体制程工艺技术领域，具体涉及一种混酸系统及其方法，包括闭环反馈控制瞬时流量系统、加液阀、排液阀和混酸桶；所述闭环反馈控制瞬时流量系统根据设定比例自动计算每路药液所需流量，开启排废阀同时闭环反馈调节各支路流量，当各路累计流量达到...
该专利属于浙江洁芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江洁芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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