【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体热交换，更具体地说，它涉及一种用于半导体设备的热交换温控系统。
技术介绍
1、用于半导体设备的热交换温控系统是一种利用溶液的吸收和再生的过程来传递和转换热量的系统。它通常由吸收器、冷凝器、蒸发器和热源组成。
2、在吸收器中，溶液从热源吸收热量，使溶液中的溶质从液态变为气态，同时释放出热量。然后，这些带有热量的气体进入冷凝器，将热量释放给冷流体。接着，冷凝后的液体回到蒸发器，再次吸收热量，完成循环。
3、相关技术中，热交换系统与溶液温度有着紧密的联系，当水中的溶液温度量低于阈值时，系统会将加热器开启，持续向溶液中加热，当溶液温度量达到标准时，系统会将加热器关闭，进而加热器停止供氧。这样频繁的启闭加热器，不仅容易造成加热器的故障，而且还降低了热交换的效率。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于半导体设备的热交换温控系统。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：
3、一种用于半导...
【技术保护点】
1.一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，包括溶液采集模块、增温调整模块、间隔调整模块；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，所述间隔调整模块用于调整溶液采集模块检测目标溶液的时间间隔，具体为：
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，理想值Wz通过下述步骤获取得到：将目标降值与理想降值进行差值计算，获取得到理想降差，将所有理想降差进行求和处理，获取得到理想降总差，并标记为Pr，获取...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，包括溶液采集模块、增温调整模块、间隔调整模块；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，所述间隔调整模块用于调整溶液采集模块检测目标溶液的时间间隔，具体为：
4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，理想值wz通过下述步骤获取得到：将目标降值与理想降值进行差值计算，获取得到理想降差，将所有理想降差进行求和处理，获取得到理想降总差，并标记为pr，获取得到该溶液降值标记为理想降值的总次数，并标记为kg。
5.根据权利要求4所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，将理想降差按照对应定点溶液量的检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻两个定点溶液量的检测时间进行时间差值计算，获取得到理想间隔，将所有理想间隔进行求和处理并取均值，获取得到平均理想间隔，并标记为jt，利用公式获取得到理想值wz，其中，a1为理想降总差系数，a2为理想次数系数，a3为理想间隔系数。
6.根据权利要求5所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，失落值ed通过下述步骤获取得到：将失落降值与目标降值进行差值计算，获取得到失落降差，将所有失落降差进行求和处理，获取得到失落降总差，并标记为cb，获取得到该溶液降值标记为失落降值的总次数，并标记为se。
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，将失落降差按...
【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，曹亚峰，赵宗龙，石明来，
申请(专利权)人：安徽优睿半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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