显影液控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种显影液控制系统，其包括有通过管道与显影液储槽单元连通的化学和水供应单元，用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元，在连通所述化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元，所述控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元连通，对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或／和浓纯显影液。具有实时监测与控制的功能，还具有校准功能，可以确保产品的合格率。

Developer control system

The invention discloses a developer control system, which comprises a chemical and water supply unit through the pipeline and the developing tank unit connected, for detecting developer concentration detection unit, the developer liquid circulation tank unit developering concentration and photoresist concentration of UV absorption in the detection unit. The pipeline communicated between the chemical and water supply unit and the developing tank unit are arranged on the control unit, the control unit respectively the light detecting unit connected through a pipeline and data signal transmission line suction and the developer concentration detection unit, UV, the developer concentration detection unit, UV the light absorption detection unit for calibration processing, and absorbance detection information feedback control unit of the chemical and water supply to the developing unit according to the developer concentration detection unit, UV The water tank unit is fed with deionized water or / or concentrated solution. It has the function of real-time monitoring and control, and also has calibration function, which can ensure the qualified rate of products.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种显影液的控制系统，更具体地说，关于一种能对显影剂浓 度和光刻胶浓度进行实时测定和调节，并可对显影剂浓度检测单元及紫外吸光 检测单元进行校准的显影液控制系统。
技术介绍
目前薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display, 以下简称TFT-LCD)在生产中大体分为阵列，成盒，模块三大工序，而在 阵列工序中又大体分为成膜，光刻，蚀刻三大工艺。其中，光刻工艺是在玻璃 基板上涂上光刻胶，再进行曝光和显影，而在显影过程中，对显影液浓度的控 制非常重要，也就是说，显影液浓度的不稳定将导致产品的不合格，而目前为 了控制显影液的浓度， 一般都设置有显影液控制系统(Developer Control System,以下简称DCS)，如图1所示，现有的显影液控制系统包括有显影 液储槽单元11、显影剂浓度检测单元13和紫外吸光检测单元12,其中显影液 储槽单元11中储存有供循环使用的显影液，里面含有碱性显影剂和从坡璃基板 上溶解掉的光刻胶，这种含有光刻胶的显影液以下简称显影循环液，只含碱性显影剂的显影液以下简称为纯显影液。显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影液控制系统，包括有通过管道与显影液储槽单元（１１）连通的化学和水供应单元（１４），及用于检测所述显影液储槽单元（１１）内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元（１３）、紫外吸光检测单元（１２），其特征在于，在连通所述化学和水供应单元（１４）与所述显影液储槽单元（１１）之间的管道上增设有控制单元（２０），所述控制单元（２０）分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元（１３）、紫外吸光检测单元（１２）连通，对所述显影剂浓度检测单元（１３）、紫外吸光检测单元（１２）进行校准处理，并根据所述显影剂浓度检测单元（１３）、紫外吸光检测单元（１２）反馈的信息控制所述化学和水...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄福林，郑铁元，权训，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]