【技术实现步骤摘要】
本技术涉及测试仪，尤其涉及一种多点四探针测试仪。
技术介绍
1、太阳能光伏领域在进行硅片生产过程中，硅片的方阻是一项重要的参数，通过测量半导体硅片的方阻大小可以得到该材料的局部掺杂浓度等信息。工艺人员需要实时监控方阻值以便对工艺过程相关参数进行相应评估，调整，以提高产品的一致性。对一张硅片上多个点进行测试可以同时获取同一张硅片上不同点位的方阻，以对硅片生产工艺进行更细致的监控，可以反映扩散工艺中存在的问题。
2、现有技术是采用多套的方阻测试设备同时进行测量，或者是采用一套设备通过移动硅片进行测量。采用多套的方阻测试设备同时进行测量时，需要多套方阻测量设备，不仅成本高，安装空间大。如果采用多套的方阻测试设备同时进行测量则测量效率低，操作繁琐，测量稳定性差。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种多点四探针测试仪，用以解决现有技术采用多套的方阻测试设备同时进行测量，或者是采用一套设备通过移动硅片进行测量。采用多套的方阻测试设备同时进行测量时，需要...
【技术保护点】
1.一种多点四探针测试仪，其特征在于：包括多个探针头、十六路探针头切换电路（1）、四线切换电路（2）、恒流电路（3）、电压调理及测量电路（4）和单片机控制电路（5），所述十六路探针头切换电路（1）的输入端与四线切换电路（2）连接，所述十六路探针头切换电路（1）的输出端分别与十六个四探针头连接，所述十六路探针头切换电路（1）由四个16选1模拟开关组成，所述四线切换电路（2）由四个4选1模拟开关组成，其中两个所述4选1模拟开关与恒流电路（3）连接，另外两个所述4选1模拟开关与电压调理及测量电路（4）连接，所述电压调理及测量电路（4）和恒流电路（3）均与单片机控制电路（5）
【技术特征摘要】
1.一种多点四探针测试仪，其特征在于：包括多个探针头、十六路探针头切换电路（1）、四线切换电路（2）、恒流电路（3）、电压调理及测量电路（4）和单片机控制电路（5），所述十六路探针头切换电路（1）的输入端与四线切换电路（2）连接，所述十六路探针头切换电路（1）的输出端分别与十六个四探针头连接，所述十六路探针头切换电路（1）由四个16选1模拟开关组成，所述四线切换电路（2）由四个4选1模拟开关组成，其中两个所述4选1模拟开关与恒流电路（3）连接，另外两个所述4选1模拟开关与电压调理及测量电路（4）连接，所述电压调理及测量电路（4）和恒流电路（3）均与单片机控制电路（5）相连接。
2.根据权利要求1所述的一种多点四探...
【专利技术属性】
技术研发人员：包正军，
申请(专利权)人：无锡研谱智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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